Аберрационная фигура

Cтраница 2

Изображения предмета и его двойника в процессе восстановления после исправления погрешностей в одном из них. [16]

Впереди острого конца каустики тянется область заметной длины, в которой интенсивность имеет обычно острый максимум на оси. В случае z00, с другой стороны, точка 04 находится в полой области аберрационной фигуры сопряженной точки 02, где интенсивность имеет на оси плоский минимум. В процессе восстановления, показанном на рис. 4, предмет помещался именно в эту область. [17]

Коэффициент F в (1.204) характеризует ошибку изображения, называемую кома. Аберрационная фигура для этой ошибки также имеет форму круга, но с центром, не совпадающим с точкой изображения, создаваемого параксиальным пучком. [18]

Принципиально возможно аналитически рассчитать коэффициенты указанных видов аберраций и соответствующим изменением отклоняющих полей и формы экрана попытаться свести эти коэффициенты к минимальным значениям. Поэтому при расчете отклоняющих систем стремятся в первую очередь устранить одну из ошибок, чаще всего астигматизм. Аберрационная фигура комы нередко лежит целиком внутри астигматического эллипса, и, следовательно, в этих случаях кома не играет существенной роли. Только при использовании широких ( в области отклонения) пучков кома может иметь самостоятельное значение, и тогда ее коррекция оказывается одной из наиболее трудных задач. [19]

Применение параксиальных пучков в линзах снижает точечное несоответствие между плоскостями предмета и изображения, но не устраняет его. Пучок, исходящий из точки предмета, пройдя электронную линзу, образует не сопряженную точку изображения, а нек-рую фигуру рассеяния вокруг нее, вследствие аберраций. Структура пучков и аберрационных фигур аналогична световым. Фигуру рассеяния образуют все аберрации, кроме дистор-сии, к-рая искажает масштаб изображения. Все аберрации, кроме сферической, при неограниченном уменьшении отображаемого приосевого участка уменьшаются до нуля. Поэтому в электронных микроскопах, в к-рых отображаемый приосевой участок достаточно мал, на разрешающую способность влияет только сферическая аберрация объективной линзы. Изображенный ход лучей ( траекторий) иллюстрирует значит, возрастание преломляющей силы магн. [20]

Высокая точность, которая может быть достигнута методом предиктора-корректора, предполагает новые возможности для вычисления аберраций. Аберрационные коэффициенты могут быть определены классическим методом траекторий ( см. разд. Более того, так как интегральные аберрационные коэффициенты дают только аберрации сопряженных точек предмета и изображения, а не произвольных точек траектории, альтернативный подход заключается в том, чтобы развить метод для непосредственного определения аберрационных фигур, используя большое число точно вычисленных лучей. Этот подход требует решения основного уравнения (4.21), которое в свою очередь предполагает знание всего поля, а не только его аксиального распределения. Проблема, таким образом, переходит в проблему повышения точности расчета поля. Это наиболее серьезный источник ошибок, хотя прогресс достигается также и в этом направлении ( см. разд. [21]

Магнитным отклоняющим системам также присущ астигматизм. Как известно, однородное поперечное магнитное поле обладает фо - Рис 520 электро-кусирующим действием. Таким образом, маг - статическая откло-нитная система не только отклоняет пучок, но няющая система с и дополнительно фокусирует его. Это допол - уменьшенным нительное фокусирующее действие нельзя астигматизмом скомпенсировать изменением настройки линзы прожектора, так как оптическая сила дополнительной линзы не постоянна и изменяется примерно пропорционально квадрату угла отклонения. Поскольку дополнительное собирающее действие испытывают только лучи, лежащие в плоскости отклонения, пучок, имевший, при входе в отклоняющую систему круглое сечение, в плоскости экрана становится эллиптическим, и на экране возникает аберрационная фигура, характерная для астигматизма. Если отклоняющее поле не однородно, то это тоже приводит к нарушению фокусировки. [22]

Страницы: 1 2