Неточная фокусировка

Cтраница 2

Влияние дефектов изображения на положение пика. [16]

Перемещая это отверстие, строят зависимость положения пика от расположения а-отверстия. Если изображение располагается правильно ( точно на выходной щели), соответствующая кривая ( кривая 3) проходит через экстремальное значение. Когда скорректированы сферические аберрации второго порядка и остаются только дефекты, связанные с коэффициентами третьего порядка, кривая 4 имеет точку перегиба. Кривые, наблюдаемые на практике, обычно представляют собой комбинацию этих предельных случаев. Главная цель юстировки - обеспечить условия, при которых можно перемещать - отверстие в наиболее широких пределах, но положение пика не должно выходить за пределы, определяемые требуемой величиной разрешения. При этой юстировке по направлениям необходимо использовать моноэнергетический источник ионов, чтобы не накладывались ошибки, связанные с неточной фокусировкой по скоростям. [17]

Страницы: 1 2