Имплантация
Cтраница 3
Характерная особенность высококонцентрационной имплантации - получение из одного источника импульсно-периодических пучков ускоренных ионов и плазменных потоков, что дает возможность воздействовать на обрабатываемую поверхность чередующихся ионных пучков и потоков плазмы для осаждения покрытия. При этом за счет атомного перемешивания удается компенсировать распыление поверхности и повысить концентрацию внедряемой примеси. [31]
Характерная особенность высококонцентрационной имплантации - получение из одного источника импульсно-периодических пучков ускоренных ионов и плазменных потоков, что дает возможность воздействовать на обрабатываемую поверхность чередующихся ионных пучков и потоков плазмы для осаждения покрытия. При этом за счет атомного перемешивания удается компенсировать распыление поверхности и повысить концентрацию внедряемой примеси. [32]
 |
Элемент ИЛИ-НЕ типа n - МОП ( схема с нагрузкой в виде транзистора в режиме обеднения канала.| Инвертор типа КМОП. [33] |
С помощью имплантации ионов достигается размещение нормально-запертых и нормально-открытых МОП-транзисторов на одном кристалле. [34]
В случае имплантации Pd потенциал коррозии титана от значений - 0 44 В сильно смещается в положительную сторону. При условной толщине слоя Pd в 2 - 18 нм отмечены устойчивая пассивность и коррозионная стойкость титана в 20 % - ном растворе H2SO4 при 100 С. [35]
При методе имплантации кониферин лишь в незначительной степени превращается в форму структурных звеньев этанолизи-рующейся боковой цепью, и в большей степени - в нерастворимую фракцию. По-видимому, это представление является доказанным. [36]
Затем осуществляют имплантацию акцепторной и донорной примеси и окончательно формируют р - и г. - области, как это показано в каждой из базовых ячеек. Заключительной технологической операцией является напыление слоя металлизации и создание омических контактов к истоку, затвору и с обратной стороны подложки к стоку. Часть структуры, расположенной между областями затворов, называют областью канала. [37]
Подготавливает матку к имплантации и питанию яйца, регулирует обмен в-в в жен. [38]
В результате реакции имплантации ведут к сильным изменениям свойств поверхности полимера. Например, полимер из гидрофоба превращается в гидрофил. Плазменная обработка часто используется для улучшения адгезии и смачиваемости полимерных материалов. Исходная полимерная пленка дает резкий и симметричный спектр внутреннего уровня С Is, пик которого появляется на 285 эВ, тогда как спектр N Is отсутствует. Однако после плазменной обработки пленка дает асимметричный спектр С Is с хвостом до более, чем 285 эВ и сильный спектр внутренней оболочки N Is. Сравнение этих спектров показывает, что азотной плазменной обработкой на поверхности пленки получили функциональные черты, связанные с азотом. Очевидно, что плазменная обработка имплантирует атомные остатки в поверхностные слои полимерных материалов. Моноксид углерода, диоксид углерода, моноксид азота, диоксид азота и аммоний применяются в качестве плазменных газов для гидрофильной модификации поверхности. [39]
После окончания процесса имплантации пластины подвергают отжигу при температуре 500 - 600 С. Такой отжиг имеет целью снизить дефектность кристаллической решетки. [40]
 |
Длина пробега имплантируемых ионов ( а. распределение примеси после ионной имплантации ( б. отклонение ионов в направлении, ортогональном направлению внедрения ( в. [41] |
В монокристаллическом кремнии при имплантации в направлении, совпадающем с одной из кристаллических осей, рассеяние ионов крайне низко. Иными словами, плотность атомов вдоль этих направлений мала, что приводит к аномально большому пробегу имплантируемых ионов. Этот эффект называется формированием сквозных каналов. [42]
 |
Средняя толщина пленок, образующихся. [43] |
При увеличении времени после имплантации тонкие пленки становятся плотнее, однако через 12 мес. [44]
Установлено, что при имплантации пластинки из сплава Ti - Ni обнаруживается небольшая разница концентраций Ni, растворенного в костной ткани. При имплантации пластинки из сплава Со - Сг в костной ткани обнаружена довольно высокая концентрация растворенного хрома. [45]
Страницы: 1 2 3 4 5