Cтраница 2
Анализируются условия получения фосфидов бора из газовой фазы. Определены условия получения монокристаллических пленок фосфидов бора при осаждении на кремнии. [16]
Предложена ускоренная методика анализа фосфида бора. [17]
![]() |
Изменение скоростей роста. [18] |
Отметим, что выращивание монокристаллов фосфида бора сопряжено с большими техническими трудностями. [19]
![]() |
Лауэграмма слоя субфосфида бора, полученного при 1200 С и отношении трихлорида фосфора к трибромиду бора. [20] |
Сравнивая найденные экспериментально условия синтеза фосфида бора с условиями, определенными расчетным путем, отмечаем соответствие максимальных значений отношения галогенидов, установленных тем и другим способом. Что касается минимальных значений, то экспериментально найденные величины сдвинуты в область более низких температур. [21]
Указан еще целый ряд способов получения фосфида бора, в том числе и действием фосфора на буру. [22]
![]() |
Лауэграмма слоя субфосфида бора, полученного при 1200 С и отношении трихлорида фосфора к трибромиду бора. [23] |
На этом рисунке показано изменение скорости осаждения фосфида бора и расчетного выхода бора в зависимости от отношения галогенидов при температуре 950 и 1020 С. Как видно, скорость осаждения фосфида и выход бора уменьшаются при увеличении содержания трихлорида фосфора тем быстрее, чем ниже температура. При 1020 С зависимость скорости осаждения проходит через максимум, являющийся результатом неустойчивости фосфида бора при низких парциальных давлениях трихлорида фосфора. [24]
Хотя в этих работах ставилась задача выращивания кристаллов фосфида бора, а не эпитаксиальных пленок, тем не менее полученные результаты представляют большую ценность и, по-видимому, годятся при наращивании монокристальных пленок. [25]
Наиболее полно и без потерь, по данным И. Ю. Андреевой и Г. В. Ефремова [14], фосфид бора разлагается при хлорировании. В работе [4] представлены разультаты анализа фосфида бора после разложения сплавлением с перекисью натрия. При испытании указанных методов мы убедились, что без заметных потерь фосфора и сравнительно легко происходит разложение в смеси карбонатов. Этим же способом сплавления пользовались Гюерон и Тевено [17], используя графитовые тигли, и при этом получили хорошие результаты. [26]
Получены / ( - эмиссионные спектры в чистом ( красном) фосфоре и фосфидах бора, галлия и индия. Результаты работы сравниваются с данными других авторов. [27]
Метод кристаллизации из газовой фазы путем восстановления гало-генидов водородом в применении к выращиванию кристаллов фосфидов бора не получил широкого распространения, хотя американскими исследователями [3] была показана возможность эпитаксиального наращивания слоев фосфида бора на подложках карбида кремния, а японскими [4] - на кремнии. [28]
Взаимные соединения неметаллов, к которым могут быть отнесены карбиды, нитриды, сульфиды, фосфиды бора и кремния. [29]
Несомненный научный и технический интерес представляют твердые растворы в системе BAs-ВР, о существовании которых можно предполагать на основе одинаковой структуры арсенида и фосфида бора ( кубическая решетка типа сфалерита) и близости периодов решеток, равных 4 777 А для BAs и 4 538 А для ВР. В работах [11, 12] показано образование твердых растворов в этой системе. [30]