Эмульсионный фотошаблон
Cтраница 2
Из приведенных данных можно сделать следующие выводы: 1) минимальная ширина линии, которую удается достигнуть с использованием эмульсионных фотошаблонов и негативных фоторезистов, составляет около 3 мкм. KTFR, а также KMER, 3) разрешение тем выше, чем тоньше слой фоторезиста. [16]
Для получения фотошаблонов обычно вычерчивают увеличенный в 10 - 1000 раз по сравнению с окончательным изображением фотооригинал, который затем уменьшают средствами фотографии и многократно экспонируют на фотопластинку, получая групповой эмульсионный фотошаблон. Для изготовления тонкопленочной микросхемы необходим комплект, состоящий из 3 - 7 фотошаблонов. [17]
 |
Схема базового технологического процесса фильтров ПАВ 244. [18] |
Одним из наиболее опасных дефектов в сформированной структуре ВШП является замыкание разнополярных электродов, которое приводит к выходу его из строя. Перемычки между электродами на эмульсионном фотошаблоне практически не устранимы из-за малого зазора и опасности повреждения поверхности стеклянной основы. Загрязнения же на сформированном рельефе фоторезиста могут быть удалены остросфокусированным лучом лазера. [19]
Следовательно, в этом случае можно ожидать получения более надежных, более толстых защитных слоев, без ухудшения разрешающей способности. По заявлениям изготовителей, получение линий шириной 0 5 мкм в покрытиях фоторезиста AZ-1350 толщиной до 1 8 мкм, подтверждает это положение, однако следует отметить, что травление линий шириной 1 мкм и менее обычно требует применения методов, отличных от методов, применяющихся при контактном печатании через фотошаблоны, изготовленные на липпмановских эмульсионных пластинах ( см. разд. Когда еще не было опубликовано экспериментальных сведений о рельефах, изготавливаемых в слоях фоторезиста AZ-1350 с помощью эмульсионных фотошаблонов методом контактного печатания, Джонсон [124] установил возможность получения линий шириной 2 5 мкм. [20]
Если для экспонирования пластин со слоем хрома применяются шаблоны с галоидной эмульсией, то никакого выигрыша в увеличении разрешения получить не удается. Тем не менее, применяя соответствующее экспонирование на эмульсионном шаблоне, можно воспроизвести рисунок без изменения оптической плотности на краях линий. Пленку хрома или вытравливают полностью, или поддерживают ее первоначально заданную толщину в защищенных участках, благодаря чему хромовые фотошаблоны обеспечивают получение хорошей контрастности и четкой проработки края. Необходимо отметить, что это не всегда удается, потому что оптические дефекты в эмульсионном фотошаблоне могут повторяться в процессе печа тания. Многие дефекты эмульсионных фотошаблонов имеют или ничтожно малые размеры, или очень маленькую оптическую контрастность и поэтому не могут быть проявлены фоторезистом. [21]
Если для экспонирования пластин со слоем хрома применяются шаблоны с галоидной эмульсией, то никакого выигрыша в увеличении разрешения получить не удается. Тем не менее, применяя соответствующее экспонирование на эмульсионном шаблоне, можно воспроизвести рисунок без изменения оптической плотности на краях линий. Пленку хрома или вытравливают полностью, или поддерживают ее первоначально заданную толщину в защищенных участках, благодаря чему хромовые фотошаблоны обеспечивают получение хорошей контрастности и четкой проработки края. Необходимо отметить, что это не всегда удается, потому что оптические дефекты в эмульсионном фотошаблоне могут повторяться в процессе печа тания. Многие дефекты эмульсионных фотошаблонов имеют или ничтожно малые размеры, или очень маленькую оптическую контрастность и поэтому не могут быть проявлены фоторезистом. [22]
Рабочие пластины в процессе работы подвергаются значительному износу и повреждениям, потому что они находятся в тесном контакте с подложками. В процессе контактного печатания они прижимаются со стороны, противоположной той, на которой находится слой фоторезиста, что зачастую приводит к тому, что частицы фоторезиста попадают в эмульсионный слой маски. Это намного ухудшает качество масок, потому что частицы фоторезиста удалить чрезвычайно трудно. Другими причинами являются царапины в эмульсионном слое, нанесенные твердыми частицами. В результате эти дефекты прокалывают слой фоторезиста. Таким образом, продолжительность службы фотошаблонов ограничивается 20 - 50 операциями контактного печатания, в зависимости от типа подложек и мер предосторожности при обращении с фотошаблонами. Имеются сообщения об отдельных методах увеличения срока службы эмульсионных фотошаблонов. Это предотвращает воздействие на него дефектных точек и бугорков, находящихся на подложке. [23]
Страницы: 1 2