Рабочий фотошаблон

Cтраница 1

Рабочий фотошаблон - фотошаблон, предназначенный непосредственно для процесса совмещения и экспонирования. Является зеркальным по отношению к рисунку реальных элементов микросхемы. [1]

Для изготовления рабочих фотошаблонов применяются установки типа ЭМ-523. [2]

В фотолитографии используются рабочие фотошаблоны, являющиеся фотокопией эталояного фотошаблона. Затем ее покрывают фоторезистом и экспонируют через рабочий фотошаблон. После удаления с езасвеченных участков фоторезиста производят травление резистивного слоя. В конце процесса удаляют остатки задубленного фоторезиста. Элементы, сформированные методом фотолитографии с последующим травлением, отличаются высокой точностью и воспроизводимостью. [3]

Схема мультиплицирования изображения с помощью линзового растра.| Сравнительные характеристики фотошаблонов. [4]

Как эталонные, так и рабочие фотошаблоны ( табл. 3.2) выполняют на оптических стеклах класса кронов толщиной 5 мм. Активное поле фотошаблона может меняться в зависимости от размера экспонируемых пластин от 25 х 25 до 100 х 100 мм. Изображение формируется в пленке хрома толщиной 1 мкм, нанесенной на поверхность пластины вакуумным напьиением. [5]

Стеклянные подложки, используемые для изготовления хромированных рабочих фотошаблонов, должны отвечать высоким требованиям по однородности состава, прозрачности, механической прочности к истиранию. Кроме того, стекло должно легко шлифоваться и полироваться. [6]

Контактной фотопечатью с него снимаются копии - рабочие фотошаблоны, поступающие на операцию фотолитографии. [7]

Эталонный фотошаблон - фотошаблон, предназначенный для последующего изготовления рабочих фотошаблонов. [8]

Классификация методов изготовления фотооригиналов МПП 206. [9]

При фотопозиционировании фотооригиналы не испытывают никаких механических нагрузок и могут быть непосредственно использованы в качестве рабочих фотошаблонов ( негативов или позитивов), что не только упрощает традиционный технологический процесс производства ПП за счет исключения из него операции фотографирования фотооригинала, но и устраняет неизбежные ошибки, вносимые этой операцией. [10]

Наиболее жесткие требования предъявляются к эталонным шаблонам ( ЭШ), которые служат основой для копирования рабочих фотошаблонов. Поэтому ЭШ должны изготовляться с особой тщательностью. Эталонный шаблон должен содержать всю информацию, необходимую для маскирования одного топологического слоя ИС. Для создания рисунка на ЭШ применяется сложное и высокоточное оборудование, управляемое от ЭВМ. Этот процесс достаточно длительный и. Рабочие копии ЭШ изготавливаются с помощью фотолитографии. При этом качество рисунка, как правило, несколько ухудшается. [11]

Основным недостатком фотомеханического метода изготовления фотошаблонов, начиная с проектирования топологических чертежей и кончая изготовлением комплектов рабочих фотошаблонов, является многоступенчатость процесса, что значительно увеличивает сроки и стоимость изготовления фотошаблонов. [12]

С помощью эталонного фотошаблона в зависимости от применяемого метода ( масочного, фотолитографии) изготовляют либо маску, либо рабочий фотошаблон. [13]

Комплект эталонных фотошаблонов - группа совмещающихся между собой фотошаблонов с изображением всех элементов схемы, предназначенная для изготовления комплекта рабочих фотошаблонов. [14]

Фотооригиналом ПП называют графическое изображение элементов печатного монтажа, выполненное, как правило, в увеличенном масштабе на малоусадочной основе и предназначенное для последующего фотографирования с целью получения рабочих фотошаблонов. Фотооригинал представляет собой обычно черно - белое ( или какое-либо другое) контрастное изображение печатной схемы. При средней и малой насыщенности печатного монтажа он выполняется в позитивном изображении: печатные проводники и экраны - черными, пробельные места - белыми. При высокой насыщенности печатного монтажа, когда печатные проводники, контактные площадки и экраны занимают большую часть площади ПП, фотооригинал выполняют в негативном изображении для того, чтобы его основа деформировалась наименьшим образом. [15]

Страницы: 1 2 3