Эталонный фотошаблон

Cтраница 1

Эталонный фотошаблон - фотошаблон, предназначенный для последующего изготовления рабочих фотошаблонов. [1]

Эталонный фотошаблон изготовляется на мультипликаторе ( фотоповторителе) путем многократного фотографирования изображения с промежуточного фотошаблона. Перемещение рабочего стола фотоповторителя на заданный шаг по осям X и У производится автоматически. [2]

Изготовление эталонного фотошаблона непосредственно на микрофотонаборной установке ЭМ-519Б или ЭМ-549 позволяет получить размеры электродов 5 - 10 мкм как на фотоэмульсии, так и на пленке хрома. Такие размеры соответствуют рабочим частотам фильтров ПАВ около 70 - 90 МГц с расщепленными и 140 - 180 МГц с нерасщепленными электродами. [3]

Комплект эталонных фотошаблонов - группа совмещающихся между собой фотошаблонов с изображением всех элементов схемы, предназначенная для изготовления комплекта рабочих фотошаблонов. [4]

Линзоворастровый способ фотошаблона. [5]

С эталонного фотошаблона снимаются рабочие копии, причем после нескольких циклов печати фотошаблон очищается от загрязнений или заменяется новым. Рабочие фотошаблоны получают обычным методом контактной печати. [6]

С помощью эталонного фотошаблона в зависимости от применяемого метода ( масочного, фотолитографии) изготовляют либо маску, либо рабочий фотошаблон. [7]

Таким образом, эталонный фотошаблон является уже групповым шаблоном, рассчитанным на изготовление большого числа ИС на одной подложке. Рабочие фотошаблоны изготовляются с эталонного методами контактной печати. [8]

Вначале создается комплект эталонных фотошаблонов, с которых затем методом фотолитографии получают несколько рабочих комплектов. Так как в производстве микросхем используют главным образом метод контактной фотолитографии, то в процессе эксплуатации фотошаблоны изнашиваются: на них появляются проколы, количество которых превышает допустимую норму, царапины и другие дефекты. При выходе из строя одного из рабочих фотошаблонов заменяют весь комплект во избежание ошибок при совмещении. Точно так же поступают, если выходит из строя один из эталонных фотошаблонов. [9]

Процесс мультипликации заключается в создании эталонного фотошаблона. Фотоповторитель обычно состоит из следующих основных узлов: основания координатного стола с амортизаторами; системы прецизионного координатного стола; проекционной системы ( одной или нескольких); электронного блока управления и системы управления работой блока экспонирования. [10]

Описанные выше процессы касались изготовления так называемых эталонных фотошаблонов. [11]

Основные характеристики репродукционных объективов. [12]

Это, в свою очередь, позволяет изготовлять эталонные фотошаблоны ( при использовании на этапе мультипликации фотоповторителей типа ЭМ-562) с размерами изображения элементов модулей 10x10 мм, минимальным элементом топологии 2 мкм и точностью воспроизведения 0 1 мкм. [13]

Возможно мультиплицирование сразу на покрытую фоторезистом заготовку для металлизированного эталонного фотошаблона. [14]

Характеристики объективов для редукционных камер. [15]

Страницы: 1 2 3