Эталонный фотошаблон

Cтраница 2

Требования к системам мультипликации вытекают из требований к эталонным фотошаблонам, являющимся продукцией конечной ступени трехступенчатой схемы. [16]

В основном пластины типа ST-2, ST-3 предназначены для изготовления эталонных фотошаблонов, с которых способом контактной фотолитографии выполняются рабочие прозрачные фотошаблоны на пластинках типа ST-1. Все типы пластин имеют покрытие из окиси хрома толщиной 0 2 - 0 4 мкм, причем большая толщина соответствует покрытию с большей оптической плотностью. [17]

Применяя генераторы изображения в сочетании с электронным сканирующим лучом, можно сразу получать эталонный фотошаблон с мультиплицированным изображением истинных размеров, исключая уже не один, а два предварительных этапа изготовления. С помощью такого метода уже сейчас удается получать фотошаблоны с активным полем 50 х 50 мм и минимальным размером элементов изображения в субмикронном диапазоне 0 6 - 0 8 мкм. [18]

В табл. 29 приведены основные характеристики фотоповторителей ( фотоштампов), предназначенных для получения эталонных фотошаблонов путем многократной проекционной фотопечати ( мультипликации) изображения промежуточного негатива. На многопозиционных фотоповторителях изготавливают одновременно все фотошаблоны, входящие в комплект. Это позволяет повысить производительность процесса и улучшить совмещаемость фотошаблонов комплекта. [19]

Мультипликация производится в фотоповторителях ( фотоштампах), где в промежутках между экспонированием каждого участка перемещают пластину эталонного фотошаблона с шагом, соответствующим размеру кристалла микросхемы. Существуют также многопозиционные фотоштампы с многолинзовыми объективами, дающие одновременно большое число изображений, что ускоряет процесс. С эталонного шаблона методом контактной печати изготовляют рабочие шаблоны, которые и используют в процессе фотолитографии. При наложении шаблона на полупроводниковые пластины его поверхность повреждается и шаблон изнашивается. [20]

Большие апертуры у объективов приводят к сильному уменьшению глубины резкости, что вызывает ряд технологических трудностей при изготовлении эталонных фотошаблонов с микронными и субмикронными элементами. [21]

Хромированный фотошаблон представляет собой стеклянную пластинку с напыленным слоем хрома, на который с помощью фотолитографии перенесено изображение с эталонного фотошаблона. Таким образом, хромированный фотошаблон является рабочим, а эмульсионный - эталонным, с которого по мере необходимости делаются копии. Стоимость хромированного фотошаблона выше, чем эмульсионного, но долговечность его больше примерно в 10 раз. [22]

Лазерные генераторы изображения могут быть использованы ак при изготовлении промежуточных фотошаблонов фильтров на астоты до 300 МГц, так и эталонных фотошаблонов низкочас-отных фильтров. [23]

Частицы кожи с рук оператора, пылинки е одежды людей и применяемых материалов, микронные кусочки эмульсии, стекла и фоторезиста всегда присутствуют в воздухе. Попадая между эталонным фотошаблоном и экспонируемой пластиной, эти частицы проецируются вместе с изображением фотошаблона и являются причиной дефектности готовых микросхем. Кроме того, под воздействием контактного прижима, который производится со значительным усилием, микрочастицы повреждают не только слой фоторезиста на рабочем фотошаблоне, но и эталонный фотошаблон. Для уменьшения подобных явлений применяется тщательная отмывка заготовок фотошаблонов при помощи ультразвука. [24]

Полученные на этапе мультипликации эмульсионные фотошаблоны имеют механически непрочное изображение и могут выдержать лишь 20 - 30 контактных отпечатков. Поэтому их рассматривают как эталонные фотошаблоны, с которых затем снимают копии - рабочие фотошаблоны. Рабочий шаблон получают путем напыления на стеклянную пластину сплошной пленки хрома ( порядка 1000А) с мелкозернистой структурой и проведения по этой пленке фотолитографии, включающей в себя контактную фотопечать с эмульсионного эталонного фотошаблона. При этом происходит некоторая потеря точности. Износостойкое хромовое покрытие позволяет получить до 1000 отпечатков без заметного снижения качества рисунка. [25]

Несмотря на появившиеся в последнее время установки проекционной фотолитографии, одно из важных мест в технологии производства фотошаблонов занимает тиражирование. Для обеспечения производства новыми фотошаблонами копии с эталонных фотошаблонов изготавливают обычно контактным методом. [26]

В последнее время все чаще стали использовать фотонаборные установки, позволяющие получать непосредственно действительное изображение топологических слоев микросхемы на фотопластинах. После проявления и фиксации, а при необходимости и ретуширования изображения на фотопластине, эталонные фотошаблоны размножают на контактно-копировальных станках ( например, К. [27]

К расчету предельных возможностей рисунка печатных плат по минимальной ширине проводников и зазоров при печатных процессах. [28]

Для получения требуемых фотошаблонов, обладающих достаточной износостойкостью при частом контакте с экспонируемой поверхностью, необходим исходный точный эталонный фотошаблон. Он используется как первичный инструмент. Редкое использование такого инструмента позволяет применить тонкую светочувствительную эмульсию. [29]

Оборудование фотолитографической желтой комнаты в современной чистой комнате. [30]

Страницы: 1 2 3