Cтраница 3
Выбор материала регламентируется СНиП 2.04.05 - 89 Отопление, вентиляция и кондиционирование воздуха. Основной материал, применяемый для изготовления воздуховодов и вентиляционного оборудования - низкоуглеродистая конструкционная сталь. Если системы предназначены для перемещения воздуха, содержащего химически активные газы, пары кислот и щелочей, воздуховоды и вентиляторы изготовляют из коррозионностойких материалов либо из обычной стали со специальными покрытиями. [31]
При работе некольких компрессоров на общий коллектор давление, при котором должен отключаться защитной блокировкой каждый из компрессоров, должно быть выбрано так, чтобы по возможности избежать одновременного отключения более чем одного компрессора. Иначе говоря, установленные значения ( задание) для приборов защиты могут быть несколько отличающимися для каждой из машин. Давление на стороне всасывания компрессоров, компримирующих взрывоопасные и химически активные газы, не должно достигать значения, при котором возможно подсасывание в газ воздуха и влаги из атмосферы. Поэтому при давлении всасывания, снижающемся до 40ч - 50 мм вод. ст., должна вступать в действие система защиты остановкой компрессора, а при ЮО-т-150 мм вод. ст. должна срабатывать система предупредительной сигнализации. [32]
При работе нескольких компрессоров на общий коллектор давление, при котором должен отключиться защитной блокировкой каждый компрессор, необходимо выбрать так, чтобы по возможности избежать одновременного отключения более чем одного компрессора. Иначе говоря, установленные значения ( задание) для приборов защиты могут быть несколько различными для каждой из машин. Давление на стороне всасывания компрессоров, компримирующих взрывоопасные и химически активные газы, не должно достигать значения, при котором возможно подсасывание в газ воздуха и влаги из атмосферы. Поэтому при давлении всасывания, снижающемся до 40 - 50 мм вод. ст., должна вступать в действие система защиты остановкой компрессора, а при 100 - 150 мм вод. ст. должна срабатывать система предупредительной сигнализации. [33]
![]() |
Зависимость деформа. [34] |
Эффективным способом снижения парциальных давлений химически активных составляющих остаточных газов является также использование предварительного геттерного катодного распыления того же самого материала, высокочистую пленку которого в дальнейшем необходимо получить. В процессе геттерного распыления испаряемый материал помещается на катод, а подложка закрывается специальной заслонкой. Пленка испаряемого материала, осаждаясь на заслонке и стенках рабочей камеры, поглощает химически активные газы. Когда парциальное давление этих газов снижается до безопасных пределов, заслонка поворачивается и производится напыление того же самого материала на подложку. [35]
Амплитуда предельного тока короткого замыкания составляет 75 ка. Эти токопроводы выполняются из голых алюминиевых шин, размещенных в общем алюминиевом круглом кожухе ( немагнитный материал), и монтируются на опорных изоляторах. Комплектный то-копровод может быть установлен в пыльной - среде, но для работы в среде, содержащей химически активные газы и испарения, а также в пожаро - и взрывоопасных средах, он не предназначен. [36]
![]() |
Трубчатые токопроводы 6 - 10 кВ с тросовой подвеской. [37] |
Комплектные жесткие симметричные токопроводы ( рис. 8 - 17) изготовляются на напряжение до 11 кВ и токи 1600 и 2500 А. Они рассчитываются на мощность короткого замыкания 500 MB-А. Такие токопроводы выполняются из голых алюминиевых шин, размещенных в общем ялюминиевом круглом кожухе ( немагнитный материал), и укрепленных на опорных изоляторах. Комплектный токопровод может быть установлен в пыльной среде, но для работы в среде, содержащей химически активные газы и испарения, а также в тюжаро - и взрывоопасных средах он не предназначен. [38]
![]() |
Гибкий токопровод на напряжение 6 - 10 кВ на отдельных опорах, проходящий по общей трассе с технологическими трубопроводами. [39] |
На рис. 9.6 представлены комплектные жесткие симметричные токопроводы. Они изготовляются на напряжение до 11 кВ, токи 1600 и 2500 А и на мощность короткого замыкания 500 MB-А. Они выполняются из голых алюминиевых шин, размещенных в общем алюминиевом круглом кожухе ( немагнитный материал), и монтируются на опорных изоляторах. Комплектный токопровод может быть установлен в пыльной среде, но для работы в среде, содержащей химически активные газы и испарения, а также в пожаро - и взрывоопасных средах он не предназначен. [40]
Состав применяемых защитных газов приведен в гл. Сварка в инертных газах отличается минимальным угаром легирующих элементов, что важно для сварки высоколегированных сталей. При этом способе сварки вероятности изменения состава металла шва более ограничены, чем при других способах сварки. Они возможны за счет выбора соответствующей марки сварочной проволоки, изменения долей участия основного и электродного металлов в формировании шва и применения смеси газов, содержащих химически активные газы. Сварка в защитных газах возможна в различных пространственных положениях. [41]
При распылении с геттерированием [23, 24], прежде чем начинается образование пленки за счет катодного распыления, из газа за счет реактивного распыления удаляются ( геттерируются) химически активные составляющие. Такой метод дает пленки очень высокой чистоты. В типичной установке для напыления с геттерированием в системе кроме обычной подложки, анода, имеется второй анод. Этот анод имеет форму экрана, окружающего катод и подложку. Сначала подложку закрывают заслонкой, чтобы предотвратить осаждение пленки, и все химически активные газы внутри экрана удаляют за счет поглощения в металле, распыленном из катода и осевшем на стенках сосуда. В результате этого давление химически активных газов в системе можно уменьшить до 10 - 1С мм рт. ст. Чтобы достичь такого давления в обычной системе, требуются сложные насосы и длительное обезгаживание. После геттерирования заслонку отводят и катод распыляют на подложку. Выделение газов из стенок сосуда сдерживается напыленными слоями металлических соединений. Экран делают плотно прилегающим к катоду и аноду, так что диффузия примесей из остальной части системы затруднена. Сначала систему откачивают до - 10 - 6 мм рт. ст. и при температуре приблизительно на 50 выше температуры осаждения производят обезгаживание подложки. Вообще говоря, необходимо независимое регулирование температуры подложки. В качестве газа обычно используют Аг, и реактивного распыления в течение 15 - 30 мин обычно достаточно, чтобы очистить атмосферу. Стойрер и Хозер [24] на стадии разложения использовали давление Аг в интервале ( 31 - 4 - 185) 10 - 3 мм рт. ст. До сих пор специального упора на выращивание монокристаллов не делалось, и это потребует, вероятно, более высоких температур подложки и применения монокристальных подложек. Распыление с геттерированием дает возможность изучать механизмы роста кристаллов в сверхчистых условиях, а также получать сверхчистые пленки. [42]
Эти изменения происходят в результате поглощения газа стенками и электродами разрядной трубки. Различие в скорости поглощения компонентов смеси приводит к изменению ее состава. Поглощение газов сильно зависит от продолжительности предыдущих разрядов, и поэтому повторная регистрация спектра смеси одного и того же исходного состава может не дать тождественных результатов. Подобного рода изменения плохо поддаются контролю. Поглощение инертных газов значительно слабее поглощения химически активных газов. Химически активные газы, кроме того, могут вступать в реакции с материалом электродов. Роль этих процессов усугубляется тем, что обычно масса газа ничтожна по сравнению с массой стенок и электродов. [43]