Cтраница 4
К недостаткам газонапуска с молекулярным потоком относятся: необходимость глубокой откачки объема перед впуском очередной пробы, высокое требование к вакуумной плотности всех элементов системы и строгое соблюдение вакуумной гигиены. [46]
Очевидно, что для повышения коэффициента выхода следует улучшать технологию изготовления ИС, однако в значительной степени этот параметр определяется и субъективными факторами: ошибками работников, а также неизбежным внесением ими пыли в зону вакуумной гигиены полупроводникового производства. Имеется еще немало технологических операций, которые можно механизировать, например, загрузку полупроводниковых пластин, вывод на режим технологического оборудования, выбор фотошаблонов и др. Поэтому в последнее время в микроэлектронике широко развивается автоматизация технологических операций. [47]
Наряду с этим оборудование электровакуумного производства должно отвечать ряду специфических весьма жестких требований: быть герметичным, термостойким, устойчивым к агрессивным химическим средам и др. Кроме того, в условиях электровакуумного производства необходимо строго соблюдать вакуумную гигиену и технику безопасности. Все это диктует определенные правила эксплуатации, наладки и обслуживания электровакуумного оборудования. [48]
К транспортной системе, применяемой при производстве полупроводниковых приборов, предъявляются такие требования, как доставка партий пластин на технологические участки, управление движением материальных потоков при многономенклатурном производстве, создание накопительных устройств, обеспечивающих ритм работы участков, мобильность и высокая вакуумная гигиена. Примером транспортной системы, обеспечивающей выполнение этих требований, является линия для проведения прецизионных процессов физико-термической обработки полупроводниковых пластин. [49]
Наличие технических этажей для промышленной канализации, воздуховодов и других инженерных сетей дает возможность применять модульную систему разводок инженерных сетей, позволяющую подключать оборудование в любом месте, при любой перестановке, а также проводить монтаж и демонтаж инженерных сетей без нарушения вакуумной гигиены чистых помещений. [50]
Должен знать: принцип работы вакуумметров с ионизационными в магниторазрядными манометрами, хроматографических колонок, РН-метров-детекторов; основные закономерности при взаимодействии газов с металлами; основные принципы сорбции, растворения; радиоактивные и стабильные изотопы; основы электроники; сущность метода изотопного разбавления, применение его для анализа газов в металлах; физические основы измерения вакуума, физические основы масс-спектрометрии; вакуумную гигиену; правила работы на масс-спектрометре; особенности одновременного определения содержания нескольких газов на установках вакуум-плавления; методы определения погрешности. [51]