Cтраница 1
Летучие неорганические гидриды, заслуживают особого внимания как идеальные материалы для получения следующих простых веществ в особо чистом состоянии: В, С, Qe, Sn, Si, P, As, Sb, Se, Те. Все они образуют летучие гидриды с низкими температурами плавления и кипения и поддаются глубокой очистке ректификацией или кристаллизацией без загрязнения материалом аппаратуры. Термическое разложение гидридов протекает с выделением газообразного водорода, который легко удаляется из сферы реакции. Недостатком метода является высокая токсичность почти всех гидридов, что требует особых мер предосторожности. [1]
Широкое применение летучих неорганических гидридов для получения особо чистых металлов и полупроводников обусловливает непрерывный рост требований к степени чистоты этих соединений. Показано, что гидриды загрязнены твердыми частицами, состоящими из нелетучих соединений. [2]
Принципиальные трудности количественного анализа летучих неорганических гидридов и хлоридов при анализе микропримесей состоят в необходимости учета влияния или в устранении влияния основного компонента. В хроматографии с целью уменьшения или устранения маскирующего действия зоны основного компонента отводят его мимо детектора, либо связывают взаимодействием с неподвижной фазой или селективными реагентами, либо, наконец, термически разлагают. Это диктуется в основном высокой реакционной способностью гидридов и хлоридов. [3]
Чувствительность хроматографического анализа моносилана на летучие неорганические гидриды ( фосфин, диборан и др.) составляет 1 - 10 - 3 - 8 - 10 - 3 %, что гораздо выше фактического их содержания в моносилане особой чистоты. [4]
С термодинамической точки зрения, низшие летучие неорганические гидриды, за исключением метана и сероводорода, являются нестойкими соединениями и разлагаются при сравнительно невысокой температуре. Последняя зависит от природы гидрида и колеблется для большинства гидридов в интервале 150 - 350 С. Относительно низкая температура разложения гидридов позволяет обеспечить стерильность этого процесса, что весьма важно при получении веществ высокой чистоты. [5]
Рассмотрены некоторые вопросы глубокой очистки летучих неорганических гидридов. Дана классификация примесей в гидридах по источнику загрязнения и летучести. Рассмотрены особенности глубокой очистки гидридов от малолетучих примесей. Обсуждена целесообразность использования различных методов разделения смесей на стадии предварительной очистки гидридов. [6]
Возможность применения сорбционного метода осушки летучих неорганических гидридов ( GeH4, AsH3, PH3, H2S) синтетическими цеолитами определяется не только селективностью сорбции влаги, но прежде всего стабильностью очищаемых гидридов при сорбции и десорбции. Сопоставляя факт наличия на поверхности цеолитов специфичных химически активных функциональных групп со значительной реакционной способностью гидридов, нельзя априори быть уверенным в стабильности гидридов при сорбции на цеолитах. [7]
Как видно из табл 3, летучие неорганические гидриды содержат примеси натрия, меди, магния, бора, алюминия, железа, марганца, кремния, никеля на уровне 1 - 10 - 3 - 1 - 10-в вес. [8]
Масс-снектральный анализ моносилана и моногермана на содержание микропримесей летучих неорганических гидридов элементов IV-V групп. [9]
В работе [235] предложена методика определения суммарного содержания углерода в летучих неорганических гидридах, инертных газах, водороде и азоте. Эта методика основана на переходе летучих углеродеодержащих соединений в зоне электрического разряда в присутствии водорода в метан и ацетилен. [10]
При идентификации углеродсодержащих примесей, а также примесей мышьяка и серы в летучих неорганических гидридах можно использовать метод термического разложения гидридов с последующим анализом характера распределения примесей между аморфной и кристаллической частями получаемого при разложении металла. Примеси, находящиеся в моногермановодороде, также разлагаются, при этом аморфная и кристаллическая твердые фазы германия по-разному влияют на механизм и кинетику разложения примесей. [11]
В настоящей работе описывается хроматографический метод количественного анализа моносилана и арсина на содержание микропримесей летучих неорганических гидридов IV-VI групп периодической системы элементов, а также анализ моногермана на содержание некоторых легких углеводородов. [12]
Так, величина предельной адсорбции а0 составляет для SiH4, PHS и AsH3 0 2 ммолъ / г, а моногермана 0 3 ммоль / г. Это в полной мере позволяет использовать молекулярно-ситовое действие цеолита в таком важном процессе, как глубокая осушка летучих неорганических гидридов. [13]
Выбор цеолита обусловлен тем, что при облучении нейтронами натрий сильно активируется с образованием изотопа 24Na, обладающего ] радиоактивным излучением высокой энергии. Это затрудняет работу с цеолитом NaA, который рекомендован нами для осушки летучих неорганических гидридов. Но так как цеолиты NaA и СаА изготовляются по сходной технологии ( ионы натрия на определенном этапе производства цеолитов замещаются ионами кальция, образец цеолита СаА имел степень обмена ионов Na - 75 - 80 %), состав примесей в обоих цеолитах примерно одинаков. Переход же примесей из цеолита СаА, по-видимому, должен осуществляться легче, чем из цеолита NaA, поскольку молекулы очищаемого гидрида проникают в сорбционные полости первого и не проникают в полости второго. [14]
При этом наиболее удачным оказалось использование алкоголята натрия, который подается в реактор одновременно с триэтоксисиланом в жидком виде. Преимущество метода заключается в том, что основная масса примесей ( в том числе тяжелые металлы) не образуют летучих неорганических гидридов, и очистка от них моносилана происходит еще на стадии его получения. Вместе с тем полученный в таком процессе моносилан содержит насыщенные пары триэтоксисилана, от которых необходимо осуществлять дополнительную очистку. Очистка моносилана от кремнеорганических эфиров ( три - и тетраэтоксисилана) осуществляется методом низкотемпературной конденсации сразу же после проведения диспропорционирования. [15]