Cтраница 2
![]() |
Характеристики глицидного эфира метакриловой кислоты. [16] |
Радиационный выход процесса полимеризации глицидилметакрилата ( до 10 % превращения) в вакууме при 20 С и мощности дозы 50 рад / сек составляет 26 200 молЛОО эв. Выход линейно растет с повышением температуры и достигает 40 500 мол. Порядок величины радиационного выхода и его зависимость от температуры и присутствия кислорода воздуха указывают на то, что вызванная действием излучений полимеризация глицидилметакрилата протекает по радикальному цепному механизму. [17]
![]() |
Образование ПМ для ИХТ при введении Са3 в толстый слой чувствительного резиста. [18] |
ПДХПА в смеси с сополимером глицидилметакрилата с этилакри-латом, а также с N-винилкарбазолом и политетрафторпропилмет-акрилатом при толщине слоя 0 2 мкм требует для экспонирования дозу около 10 Дж / см2 [6], что при использовании МСР обеспечивает достаточное AR. [19]
Термополимер метилакрилата, этилакрилата и глицидилметакрилата, частично этери-фицированный метакриловой кислотой. [20]
![]() |
Образование ПМ для ИХТ при введении Оа3 в толстый слой чувствительного резиста. [21] |
ПДХПА в смеси с сополимером глицидилметакрилата с этилакри-латом, а также с N-винилкарбазолом и политетрафторпропилмет-акрилатом при толщине слоя 0 2 мкм требует для экспонирования дозу около 10 Дж / см2 [6], что при использовании МСР обеспечивает достаточное AR. [22]
Остаточная ненасыщенность составляла для полимера глицидилметакрилата - 16 %, для полимера глицидилакрилата 5 5 %; ни тот, ни другой не содержали эпоксидных групп. [23]
![]() |
Чувствительность резистов к электронному ( 20 кВ и рентгеновскому излучению. [24] |
ЭПБ; 2 - сополимер глицидилметакрилата с этил-акрилатом; 3 - полиглицидилметакрилат; 4 - поли-1 - бутен-сульфон; 5 - поли-2 2 3 3-тетрафторпропилмет-акрилат ( FBM-D), 6 - сополимер метилметакрилата с метакрпловой кислотой; 7 - ПММА. [25]
При синтезе полимера вначале проводят синтез глицидилметакрилата. Глицидилметакрилат получают в че-тырехгорлой колбе, снабженной механической мешалкой, термометром и капельной воронкой ( см. рис. 6, стр. В колбу наливают эпихлоргидрин, нагревают до 90 С и по каплям добавляют раствор натровой соли метакриловой кислоты в течение 1 - 1 5 час, при энергичном перемешивании. [26]
При синтезе полимера вначале проводят синтез глицидилметакрилата. Глицидилметакрилат получают в че-тырехгорлой колбе, снабженной механической мешалкой, термометром и капельной воронкой ( см. рис. 6, стр. В колбу наливают эпихлоргидрин, нагревают до 90 С и по каплям добавляют раствор натровой соли метакриловой кислоты в течение 1 - 1.5 час, при энергичном перемешивании. [27]
![]() |
Зависимость выхода гель-фракции при облучении смеси ме-такриловая кислота - эпоксидно-диановая смола ЭД-5 состава. [28] |
Винильная связь обусловливает легкое протекание радиационной полимеризации глицидилметакрилата по радикальному механизму. В образовании молекул полимера, кроме двойных связей, видимо, принимают участие и эпоксидные группы. [29]
Однако по стабильности системы фенилглицидиловый эфир уступает глицидилметакрилату. [30]