Cтраница 2
Выход Оже-электронов находится в прямой зависимости от интенсивности ( или тока) первичного пучка электронов. Оптимальные геометрические условия регистрации Оже-электронов отвечают углу падения первичного пучка 70 - 80 ( угол между направлением падающего пучка и нормалью к поверхности), при этом максимальная интенсивность эмиттируемых электронов оказывается в направлении нормали к поверхности мишени. Эти условия связаны с тем обстоятельством, что глубина выхода Оже-электронов из мишени очень мала по сравнению с глубиной проникновения первичных электронов. [16]
Изучение профиля распределения исследуемого химического элемента по глубине методом ЭОС может быть найдено тремя способами. Первый способ основан на том, что при наклонном падении бомбардирующего электронного пучка вероятность возбуждения поверхностных атомов становится больше, чем при нормальном падении. Поэтому для получения количественных данных исследуют зависимость интенсивности линий ЭО-спектра от угла падения первичного электронного пучка к исследуемой поверхности твердого тела. Второй способ основан на зависимости глубины выхода оже-электронов от их энергии. [17]