Cтраница 3
Испарение материалов широко используется для получения тонких пленок, применяемых в самых различных областях техники. Преимущества электронно-лучевого испарения перед другими методами испарения состоят в следующем. Во-первых, при обычном тигельном нагреве испаряемого вещества температура поверхности и объема одинакова. При электронно-лучевом нагреве высокую температуру имеет только поверхность. Такой метод позволяет получать материалы высокой чистоты, так как почти полностью исключается реакция испаряемого вещества с материалом тигля. При электронно-лучевом испарении возможен и бестигельный процесс. Во-вторых, имеется возможность управлять электронным пучком во времени и в пространстве, что позволяет регулировать поток энергии и скорость испарения. [31]
В 1930 г. фирма Вестерн Электрик применила метод конного распыления для нанесения тонкого слоя золота на первые восковые оригиналы грамофонных пластинок фирмы Эдифон. С появлением электронно-лучевого испарения ионное распыление для получения пленок тугоплавких материалов, таких, например, как Та, W и А12О3 стало использоваться все реже. Однако углубление понимания процесса ионного распыления и открытие высокочастотного распыления диэлектриков привели к выявлению таких важных преимуществ способа ионного распыления, которые в ряде случаев делают его предпочтительным. В каждом конкретном случае необходимо сопоставлять этот метод с другими известными методами осаждения пленок, которые могут быть, в частности, более производительными или более дешевыми. [32]