Тигельный испаритель
Cтраница 1
 |
Испарители с косвенным нагревом. [1] |
Тигельный испаритель, показанный на рис. 2.7, д, при равной мощности питания нагревается до более высокой температуры, чем испаритель рис. 2.7, г, вследствие лучшего теплового контакта тугоплавкой спирали подогревателя с тиглем. Графитовый тигельный испаритель, приведенный на рис. 2.7, е, представляет собой стержень с выфре-зерованным углублением в центре, куда закладывают испаряемое вещество. [2]
 |
Испарители с косвенным нагревом. [3] |
Тигельные испарители с косвенным индукционным нагревом ( рис. 2.8, а) и нагревом электронной бомбардировкой ( рис. 2.8, б) применяют для испарения металлов и диэлектриков. [4]
Тигельные испарители могут применяться только для испарения материалов, не вступающих в реакцию с материалом тигля и не образующих с ними сплавов. Они изготавливаются из тугоплавких металлов ( W, Та, Мо), из окислов металлов ( А12О3, BeO, ZrO2, ТЮ2 и др.) и графита. [5]
 |
Испарители с косвенным нагревом. [6] |
Тигельный испаритель, показанный на рис. 2.7, д, при равной мощности питания нагревается до более высокой температуры, чем испаритель рис. 2.7, г, вследствие лучшего теплового контакта тугоплавкой спирали подогревателя с тиглем. Графитовый тигельный испаритель, приведенный на рис. 2.7, е, представляет собой стержень с выфре-зерованным углублением в центре, куда закладывают испаряемое вещество. [7]
 |
Схема электронно-лучевого испарителя. [8] |
Тигельные испарители применяют только для испарения больших количеств материалов, не вступающих в реакцию с материалом тигля. Последние изготовляют из тугоплавких металлов ( вольфрам, молибден и др.), графита, стекла и кварца. По сравнению с проволочными и ленточными испарителями они более инерционны, так как малая теплопроводность тигля не обеспечивает быстрый нагрев испаряемого материала. [9]
Тигельные испарители с косвенным индукционным нагревом ( рис. 2.8, а) и нагревом электронной бомбардировкой ( рис. 2.8, б) применяют для испарения металлов и диэлектриков. [10]
 |
Испарители с косвенным нагревом. [11] |
В тигельных испарителях рис. 2.8, б тигель 4, выполненный из проводящего тугоплавкого материала, находится относительно катода 3 под высоким ( 2 - 10 кВ) положительным потенциалом. [12]
Основное преимущество тигельных испарителей состоит в том, что при помощи их можно осуществлять испарение большого количества вещества. Вместе с тем по сравнению с проволочным и ленточным испарителями они являются более инерционными, так как малая теплопроводность материала тигля не позволяет обеспечить быстрый нагрев испаряемого материала. Кроме того, тигли из окислов металлов не допускают быстрого нагрева из-за опасности их разрушения тепловым ударом. К недостаткам тигельных испарителей следует отнести и то, что они позволяют испарять материал только в одном направлении. [13]
 |
Ленточные испарители.| Тигельные испарители. [14] |
Нагревание материалов в тигельных испарителях производится тремя способами: резистивным, индукционным и электроннолучевым. [15]
Страницы: 1 2 3