Тигельный испаритель
Cтраница 2
 |
Проволочные испарители. [16] |
На практике наиболее часто применяют проволочные, ленточные и тигельные испарители. [17]
 |
Керамические испарители. [18] |
Для испарения многих диэлектриков с успехом может применяться тигельный испаритель с радиационным нагревом ( рис. 3 - 56 6), состоящий из неглубокого керамического тигля из окиси алюминия, смонтированного на теплоизолирующей подставке, и вольфрамового нагревателя, выполненного в виде плоской улитообразной спирали. Подставка тигля может с помощью винта подниматься и опускаться, что обеспечивает сохранность нагревателя при перезарядке тигля. [19]
 |
Металлические тигельные испарители. [20] |
На рис. 3 - 55 е представлена схема тигельного испарителя, предназначенного также для испарения моноокиси кремния. Трудность испарения моноокиси кремния при помощи обычных ленточных испарителей заключается в том, что в процессе распыления время от времени наблюдается выброс макроскопических частиц или комет, которые могут пробить получающуюся при этом диэлектрическую пленку. [21]
На рис. 3 - 55 а изображена простая конструкция тигельного испарителя, изготовленного из тантала, который нагревается при помощи специальной изолированной спирали, намотанной вокруг поддерживающего стержня. [22]
Миниатюрная ванна расплава в твердом образце, облучаемом сфокусированным электронным лучом, небольшое отверстие-диафрагма над тигельным испарителем, поперечное сечение испарителя стержневого типа - все это в первом приближении точечные источники молекулярного потока. [23]
В 1958 г. Л.С.Палатником и Г.В.Федоровым были опубликованы данные о необычайно высокой микротвердости вакуумных конденсатов алюминия: которую авторы связывали с упрочнением за счет попадания окислов из тигельного испарителя. Пленки содержали неконтролируемые примеси типа окислов А хОу, образующиеся в результате взаимодействия расплава с огнеупорным тигельным испарителем. Было показано, что максимальная прочность пленок сплавов более чем в два раза превосходит соответствующие значения для массивных состаренных хромистых бронз. [24]
Если в процессе напыления наблюдается выброс макроскопических частиц, повреждающих напыляемую пленку, применяют испарители в виде лодочки ( рис. 2.7, б) с одним или двумя экранами, отверстия в которых смещены в шахматном порядке. Тигельный испаритель, представленный на рис. 2.7, е, используют для испарения больших количеств сыпучих диэлектрических материалов. [25]
Тигельный испаритель, показанный на рис. 2.7, д, при равной мощности питания нагревается до более высокой температуры, чем испаритель рис. 2.7, г, вследствие лучшего теплового контакта тугоплавкой спирали подогревателя с тиглем. Графитовый тигельный испаритель, приведенный на рис. 2.7, е, представляет собой стержень с выфре-зерованным углублением в центре, куда закладывают испаряемое вещество. [26]
Тигельный испаритель, показанный на рис. 2.7, д, при равной мощности питания нагревается до более высокой температуры, чем испаритель рис. 2.7, г, вследствие лучшего теплового контакта тугоплавкой спирали подогревателя с тиглем. Графитовый тигельный испаритель, приведенный на рис. 2.7, е, представляет собой стержень с выфре-зерованным углублением в центре, куда закладывают испаряемое вещество. [27]
Предметом неустанного внимания конструкторов систем непрерывного действия является вопрос разработки специальных испарителей большой емкости, не требующих частой загрузки. Для этой цели были сконструированы увеличенные экранированные сублимационные и тигельные испарители. Чтобы избежать повышенного газовыделения из-за нагрева стенок камеры за счет большой рассеиваемой такими испарителями мощности, необходимо использовать радиационные экраны, по возможности охлаждаемые водой. Альтернативой источника с увеличенными размерами является небольшой испаритель с механизмом подзарядки. Уже разработаны конструкции различных типов проволочных, порошковых и гранульных фидеров, см. разд. Манипулятор захватывает заранее размещенные возле испарителя гранулы и сбрасывает их в тигель. [28]
В 1958 г. Л.С.Палатником и Г.В.Федоровым были опубликованы данные о необычайно высокой микротвердости вакуумных конденсатов алюминия: которую авторы связывали с упрочнением за счет попадания окислов из тигельного испарителя. Пленки содержали неконтролируемые примеси типа окислов А хОу, образующиеся в результате взаимодействия расплава с огнеупорным тигельным испарителем. Было показано, что максимальная прочность пленок сплавов более чем в два раза превосходит соответствующие значения для массивных состаренных хромистых бронз. [29]
Для производства ПЖГметодом конденсации материалов в вакууме разрабатывают специализированные установки. Например, одна из опытно-промышленных установок [6] оснащена камерой, изготовленной из немагнитной стали и имеющей форму цилиндра диаметром 600 и длиной, 2000 мм. Пленки получают в рабочей зоне камеры, осаждая их из тигельного испарителя через щелевую диафрагму на движущуюся подложку. В конструкции камеры предусмотрена возможность загрузки и выгрузки подложек партиями со шлюзованием. [30]
Страницы: 1 2 3