Cтраница 1
Пленочные датчики из HgSe или HgTe любых размеров и формы легко получаются напылением слоя полупроводника на подложку через трафарет. Через трафарет же можно предварительно нанести на подложку металлические электроды испарением или распылением металла в вакууме. [1]
Пленочные датчики изготавливают посредством нанесения тонких пленок на подложку методом вакуумного испарения исходного материала. [2]
Пленочные датчики изготовляют распылением материала по поверхности изолирующей подложки из слюды с последующей термообработкой. Толщина пленок 0 0002 - 7 - 0 005 см. Чтобы осуществить электрическую изоляцию пленки и ее защиту от механических повреждений, применяют лаковые покрытия. [3]
![]() |
Оптимальные формы образцов магниторезисторов. а - диск Карбино, б - пластина ( 1 - электрод, 2 - полупроводник. [4] |
Пленочные датчики Холла имеют более высокую чувствительность, чем кристаллические. Датчики Холла имеют линейную выходную характеристику, малые размеры, высокую надежность. Их недостатком является сравнительно сильная зависимость чувствительности и коэффициента Холла от температуры. [5]
Что касается пленочных датчиков из HgSe и HgTe, то, по данным Ел-патьевской и Регеля [ п 12 - 26 ], температурный коэффициент чувствительности таких датчиков при 20 С составляет 0.1 - 1.0 % на 1 С при вольтовой чувствительности fmax 40 - 100 мкв / эрст. [6]
С помощью пленочных датчиков можно изучить теплообмен и газодинамику неустановившегося пограничного слоя при его развитии от ламинарного с переходом в турбулентный. [7]
Вар же невский, Пленочные датчики платности, Тр. [8]
Представлен детальный анализ работы пленочных датчиков весьма малых размеров предназначенных для измерения локальных характеристик трения тешю-и массопереноса на твердую гладкую стенку омываемую потоком жидкоетк. Получено решение в полной мере учитывающее как краевые / продольная молекулярная диффузия тепла или пассивной смеси / так и поверхностные эффекты / конечная скорость электрохимической реакции для диффузионного датчика отвод тепла в основание теплового пленоч - ного элемента или тепловое сопротивление его защитного покрытия / весь ма существенные для датчиков малых размеров. На основе такого сравнения удается установить верхнюю границу области размеров датчиков, в которой нельзя пренебрегать влиянием краевых эффектов. [9]
Опыты были проведены с пленочными датчиками из неотожженного и отожженного при 390 С константана. [10]
Вар же не нений, Пленочные датчики платности, Тр. [11]
![]() |
Ваттметр, основанный на эффекте Холла. [12] |
Наряду с монокристаллическими широкое применение находят пленочные датчики, которые получают нанесением на диэлектрическую подложку ( слюда, керамика и др.) тонких пленок из. Эти датчики обладают высоким внутренним сопротивлением и чувствительностью, что обеспечивает хорошее согласование с нагрузкой. [13]
Это позволяет из селенида ртути изготовлять высокочувствительные пленочные датчики холл-эффекта. [14]
Для размещения в узких зазорах очень удобны пленочные датчики Холла, Для их изготовления используется метод испарения в вакууме исходного вещества с последующим осаждением на подложку из слюды. Толщина пленочных датчиков составляет 10 - 30 мкм, что в сотни раз меньше, чем у кристаллических датчиков. Материалом для пленочных датчиков служат соединения ртути: селенид ртути HgSe и теллурид ртути HgTe. Чем тоньше пленка, тем меньше постоянная Холла. По своим возможностям применения в системах автоматики пленочные датчики примерно равноценны с германиевыми и даже лучше по температурной стабильности. Но они очень дорогие. В настоящее время проводятся исследования новых материалов, пригодных для использования в датчиках Холла и магнитосопротивления. [15]