Cтраница 2
Для размещения в узких зазорах очень удобны пленочные датчики Холла. Для их изготовления используется метод испарения в вакууме исходного вещества с последующим осаждением на подложку из слюды. Толщина пленочных датчиков составляет 10 - 30 мкм, что в сотни раз меньше, чем у кристаллических датчиков. Материалом для пленочных датчиков служат соединения ртути: селенид ртути HgSe и теллурид ртути HgTe. Чем тоньше пленка, тем меньше постоянная Холла. По своим возможностям применения в системах автоматики пленочные датчики примерно равноценны с германиевыми и даже лучше по температурной стабильности. Но они очень дорогие. В настоящее время проводятся исследования новых материалов, пригодных для использования в датчиках Холла и магнитосопротивления. [16]
В отличие от диэлектрических датчиков давления, пьезоэлектрические пленочные датчики относятся к датчикам генераторного типа. Датчики просты в изготовлении и не требуют источников питания. Основой их являются такие пьезополимеры, как поливинилиденфторид ( ПВДФ), поливинилхлорид ( ПВХ), имеющие конечную величину остаточной поляризации. Поляризованные пленки ПВХ используются, в основном, в качестве чувствительных элементов датчиков высокоскоростного удара. Применение датчиков на основе ПВДФ для измерения давления ограничено амплитудой ударной волны - 8 ГПа. При большем давлении у ПВДФ появляется проводимость, обусловленная его разложением за фронтом ударной волны с образованием продуктов, имеющих заметную электропроводность. [17]
На каждый из них было наклеено по 10 пленочных датчиков из неотожженного константана; датчики приклеивались вини-флексовым лаком с полимеризацией. [18]
Независимость выражения (2.5) от М открывает возможности использования пленочных датчиков в области трансзвуковых скоростей. [19]
![]() |
Схема термоанемометра постоянной температуры. [20] |
Для измерений в потоках с большими скоростными напорами применяют пленочные датчики, так как нить в этом случае может оборваться. Пленку из вольфрама или платины напыляют на основание корпуса датчика. [21]
Как уже упоминалось, значительный интерес для широкого использования имеют пленочные датчики из HgSe, HgTe и их твердых растворов. Описание технологии изготовления и свойств таких датчиков, а также-макета прибора для измерения постоянных и переменных магнитных полей до 20000 эрст. Возможность создавать в пленочном датчике большие плотности тока за счет хороших условий теплоотдачи позволяет довести их вольтовую чувствительность до 20 - 40 мкв / эрст. [22]
![]() |
Типы датчиков термоанемометра. [23] |
На рис. 4 - 20, s приведена одна из конструкций пленочного датчика термоанемометра. Рабочая часть датчика представляет собой узкий клин из термостойкого стекла, на острие которого нанесена платиновая пленка толщиной до 1 мкм. При исследовании скоростных полей по осредненным скоростям преимущества пленочных датчиков перед проволочными неоспоримы, так как они более устойчивы при больших механических нагрузках, которые имеют место при измерениях в жидкостных потоках и при высоких скоростях газовых потоков. [24]
![]() |
Типы датчиков термоанемометра. [25] |
На рис. 4 - 20, в приведена одна из конструкций пленочного датчика термоанемометра. Рабочая часть датчика представляет собой узкий клин из термостойкого стекла, на острие которого нанесена платиновая пленка толщиной до 1 мкм. При исследовании скоростных полей по осредненным скоростям преимущества пленочных датчиков перед проволочными неоспоримы, так как они более устойчивы при больших механических нагрузках, которые имеют место при измерениях в жидкостных потоках и при высоких скоростях газовых потоков. [26]
![]() |
Фотоэлектрический датчик угловых ускорений.| Калориметрический датчик расхода.| Ионизационный датчик низкого напряжения. [27] |
Наибольшей чувствительностью ( от 20 до 100 мкв / э) обладают пленочные датчики. [28]
В зависимости от технологии изготовления различают кристаллические ( в форме пластинки) и пленочные датчики. [29]
Тем не менее простота изготовления пленок, их эластичность, прочность и малая толщина делают пленочные датчики Холла весьма перспективными с точки зрения их технического использования. [30]