Cтраница 2
В рабочей камере, в которой размешаются обрабатываемые изделия, при помощи вакуумных насосов создается разрежение 1 33 10 - 3 Па. В тлеющем разряде проводится предварительная очистка поверхности изделий. Затем давление из камеры откачивается до 1 33 10 - 3 Па, и при помощи вспомогательного электрода в основном рабочем элементе установки - электродуговом испарителе возбуждается электрическая вакуумная дуга, которая горит в порах материала катода. Во избежание осаждения на изделии нитрида титана катод изготавливают из титана. Анодом является корпус вакуумной камеры. Держатель инструмента работает в режиме электростатического зонда, вытягивающего из плазмы положительно заряженные ионы титана. [16]