Cтраница 3
Конвейерная диффузионная печь ФК-12А-2 предназначена для термообработки полупроводниковых пластин диаметром 40 и 60 мм с применением ИК-нагрева. Конструкция печи обеспечивает получение рабочих температур в диапазоне 500 - 1200 С с точностью 1 5 С. Величина равномерной температурной зоны с градиентом 5 С составляет 150 - 200 мм. Конструктивно печь ФК-12А-2 состоит из приборного основания и нагревательного устройства. Внутри приборного основания размещены блок электропитания и система авторегулирования температуры. Нагревательное устройство с уплотняющим корпусом 10 смонтировано в виде отдельного блока ( рис. 71), в который входят термическая камера и транспортирующее устройство на газовой подушке. Термическая камера 3 выполнена из двух разъемных частей, в которых укреплены трубчатые кварцевые лампы. Отражение и формирование лучистого потока в камере происходит с помощью позолоченного экрана. [31]
Конвейерная диффузионная печь ФК-12А-2 предназначена для термообработки полупроводниковых пластин диаметром 40 и 60 мм с применением ИК-нагрева. Конструкция печи обеспечивает получение рабочих температур в диапазоне 500 - 1200 С с точностью 1 5 С. Величина равномерной температурной зоны с градиентом 5 С составляет 150 - 200 мм. Конструктивно печь ФК-12А-2 состоит из приборного основания и нагревательного устройства. Внутри приборного основания размещены блок электропитания и система авторегулирования температуры. Нагревательное устройство с уплотняющим корпусом 10 смонтировано в виде отдельного блока ( рис. 71), в который входят термическая камера и транспортирующее устройство на газовой подушке. Термическая камера 3 выполнена из двух разъемных частей, в которых укреплены трубчатые кварцевые лампы. Отражение и формирование лучистого потока в камере происходит с помощью позолоченного экрана. [32]
Над приборным основанием установлен корпус нагревательных камер. Для обеспечения конвективного охлаждения стенок нагревательных камер потоком воздуха предусмотрены зазоры между боковыми крышками по всей длине каркаса. Декоративные крышки имеют теплоизоляционный слой стекловолокна, покрытого алюминиевой фольгой. Температура поверхности крышек не превышает 35 С. Трехзонное регулирование температуры в диффузионной печи осуществляют с помощью пяти платино-платинородиевых термопар, которые вводятся через специальные керамические изоляторы таким образом, чтобы горячие спаи термопар находились между трубой-муфелем и спиралью. Печи СДО-125А имеют типовую систему авторегулирования температуры, включающую регулятор температуры РЕПИД-1, силовой блок БПС-01 и рабочую термическую камеру. [33]