Cтраница 4
При температурах, несколько превышающих температуру начала заметного разложения W ( CO) e ( 300 С), образуется металлическая пленка с зеркальным блеском. Мелкодисперсная структура пленок сохраняется до 350 С. Выше этой температуры происходит формирование каплсподобных образований. Размеры этих образований достигают максимума при 700 С, а затем они уменьшаются и исчезают вовсе при 800 С. Волее высокие температуры способствуют интенсивному росту кристаллов. Пленки, полученные на различных подложках ( Mo, W, Та, Nb, Ti), обнаруживают сходную морфологическую картину. [46]