Cтраница 5
К качеству обработки сопр ягаемых поверхностей предъявляются требования как по шероховатости, волнистости, так и по точности формы. Класс шероховатости поверхности с учетов экономически достижимой должен быть 6 - 8 для ваутов и 5 - 7 для отверстий. Чем меньше номинальный диаметр соединения, тем выше должен быть класс шероховатости поверхности. Для посадок первого класса шероховатость нужно назначать на класс выше. [61]
К качеству обработки рабочей поверхности звукопровода предъявляются высокие требования. Например, на ней должны отсутствовать царапины, сколы, раковины; чистота рабочей поверхности должна соответствовать классу V13 - V14 при неплоскостности не более 0 1 - 0 5 мкм. Эти требования объясняются рядом причин. Хорошая плоскостность поверхности обеспечивает плотное прилегание фотошаблона в процессе фотолитографии. Это, в свою очередь, позволяет повысить воспроизводимость мелких деталей структур фильтров. Качество поверхности звукопровода не только определяет разрешающую способность при формировании структур фильтров посредством фотолитографии, но и существенно влияет на затухания ПАВ [3, 4], особенно в пьезокерамических материалах, имеющих пористую структуру. [62]