Комплект - фотошаблон
Cтраница 3
Фотошаблоны для применения в печатных процессах. При фоторельефпой печати инструментом служит рабочий фотошаблон, содержащий непрозрачный рисунок проводников или пробельных участков в натуральную величину. При изготовлении трафарета для трафаретной печати также необходим фотошаблон. В общем случае применяют комплект фотошаблонов, совмещаемых друг с другом с высокой точностью. [31]
 |
Совмещение фотошаблона с рисунком пластины ( размеры в микрометрах. [32] |
Для этого рисунок второго фотошаблона необходимо совместить с границами р-слоя с точностью около 1 мкм. При многократной фотолитографии ( в оптоэлектронике до 5 - 7-кратной) допуск на совмещение доходит до долей микрометра. Совмещение производится под микроскопом с помощью специальных меток ( рисок) на оксиде и очередном фотошаблоне. Для одного технологического цикла изготавливается комплект фотошаблонов - по числу операций фотолитографии. [33]
Очевидно, и в дальнейшем будут появляться сообщения о рекордных результатах. Но необходимо обратить внимание на то, что все они достигнуты при проведении процесса в одном слое. А для комплекта шаблонов необходимо не только получить малые размеры, но и совместить изображения с этими размерами на одной и той же подложке для интегральных схем путем последовательного экспонирования наносимых слоев фоторезиста через разные фотошаблоны. Основная трудность элек-тронолитографии при изготовлении комплекта фотошаблонов заключается именно в воспроизведении с высокой точностью не только размеров элементов, но их взаимного расположения. Это связано прежде всего со стабилизацией источников питания. [34]
В топологию металлизации данного уровня входит ряд контактных площадок, необходимых для - контроля правильности функционирования каждой ячейки в отдельности. Следующей операцией является проверка каждой ячейки на функционирование зондовы-ми измерительными устройствами. Информация о координатах расположения годных ячеек вводится в ЭВМ для расчета топологии системы проводников. Машина проектирует топологию металлизации и управляет процессом изготовления комплекта фотошаблонов, необходимых для каждого слоя металлизации. [35]
Такие системы позволяют производить расчеты, разрабатывать топологию и получать необходимые технологические и конструкторские документы непосредственно от ЭВМ. В этом случае конструктор с помощью светового пера и клавиатуры производит разработку топологии микро-схем, вызывая необходимые ему графические изображения элементов и размещая их на экране ЭЛИ. Он может перемещать, переворачивать и масштабировать на экране изображение отдельных элементов. После получения удовлетворительного варианта он выполняет разводку межсоединений. ЭВМ помогает ему быстро производить необходимые расчеты и выдает перфоленту для автоматического изготовления комплекта фотошаблонов и документации. [36]
Страницы: 1 2 3