Cтраница 5
При таких давлениях длина свободного пробега ионов и распыленных атомов становится сравнимой с размерами газоразрядной трубки или даже более их. Поместив в плазму в качестве третьего самостоятельного электрода мишень, они заложили основу трехэлектродной системы ионного распыления. [61]