Cтраница 1
Материал испарителей - углеродистые стали, чугуны. [1]
Материал испарителя может переноситься в осаждаемую пленку также в виде летучего окисла. Поэтому степень загрязнения пленки зависит от давления и состава остаточных газов в вакуумной камере, от химической активности материала испарителя и летучести его окислов. Важно также, чтобы при рабочей температуре не происходило химической реакции или взаимного растворения испаряемого вещества и испарителя, так как при этом также могут образовываться летучие продукты. [2]
Материалы испарителей расположены по степени их пригодности для испарения данного вещества. [3]
Схема электродного нагревателя. [4] |
Материалом испарителя ртути является жароупорная сталь - сихромаль; коммуникации изготавливаются. [5]
В табл. 2.1 перечислены материалы испарителей, которые рекомендуются при испарении соответствующих металлов с учетом общих требований к материалам испарителей. [6]
Взаимодействие испаряемых материалов с материалами испарителей. [7] |
Ниже приведены рекомендации по выбору материалов испарителей для получения пленок некоторых металлов и сплавов. Материалы испарителей расположены по степени их пригодности для испарения данного вещества. [8]
Ниже приведены рекомендации по выбору материалов испарителей для получения пленок некоторых металлов и сплавов. [9]
Испарители из проволоки и металлической фольги. [10] |
В табл. 4 приведены температуры и материалы испарителей для испарения простых элементов. Отдельные материалы и типы испарителей рассматриваются более подробно в следующих параграфах. [11]
Зависимость макродеформации e от температуры Тп для пленок меди. Толщина, мкм. - 0 8. ф - 5. Д-28. О-50. [12] |
Весьма существенным фактором является попадание следов материала испарителя в конденсируемую пленку. По характеру субструктуры и поведению пленок при отжиге наблюдается большое различие между пленками меди, полученными при испарении меди с вольфрамовых и танталовых испарителей. [13]
Взаимодействие испаряемых материалов с материалами испарителей. [14] |
В табл. 12.4 представлены ориентировочные сведения о взаимодействии материалов испарителей с некоторыми металлами при температуре их испарения. [15]