Материал - испаритель
Cтраница 3
Для того чтобы металл мог хорошо испаряться с проволочных испарителей, он должен смачивать их ( приставать к ним) и обладать достаточным давлением паров для испарения при температуре ниже температуры плавления материала испарителя; кроме того, металл не должен образовывать сплава с испарителем, имеющим температуру плавления ниже температуры испарения металла. [31]
Метод позволяет получить большую чистоту и однородность состава напыляемой пленки, так как во многих случаях ( при бестигельном и автотигельном испарении) удается избежать непосредственно контакта горячей зоны испаряемого материала с материалом испарителя. [32]
 |
Схема вакуумного устройства для получения пленок стеклообразных сплавов [ 10, с. 159 ]. [33] |
Материал испарителя не должен загрязнять получаемые пленки. Поэтому при изготовлении испарителя необходимо придерживаться следующих требований [356]: 1) tK 2tB ( tH - температура испарения материала нагревателя; fB - температура испарения вещества); 2) материал нагревателя не должен реагировать с испаряемым веществом; 3) давление пара материала нагревателя должно быт пренебрежимо малым при рабочей температуре испарителя; 4) желательно хорощее смачивание материала испарителя испаряемым материалом в целях обеспечения хорошего теплового контакта. [34]
 |
Взаимодействие испаряемых материалов с материалами испарителей. [35] |
Ниже приведены рекомендации по выбору материалов испарителей для получения пленок некоторых металлов и сплавов. Материалы испарителей расположены по степени их пригодности для испарения данного вещества. [36]
Резистивные кремниевые сплавы предназначены для изготовления методом испарения и конденсации в высоком вакууме тонкопленочных резисторов и различных вспомогательных слоев изделий электронной техники. Материал испарителя - вольфрам, реже - углеграфи-товая ткань, покрытая пирографитом. Конфигурация пленочных элементов создается с помощью масок или фотолитографией. [37]
Поток газа через испаритель должен иметь такую скорость и направление, чтобы не допустить попадания пробы на мембрану. Материал испарителя и вкладыша должен быть инертным для паров пробы при температуре испарителя. [38]
Из-за высокой химической активности жидкого кремния получение тонких пленок путем испарения в вакууме сопряжено с некоторыми трудностями. Расплавленный кремний реагирует с материалом испарителя, что приводит к загрязнению осадков вторичными продуктами и быстрому разрушению испарителя. [39]
Для мгновенного испарения необходимо обеспечить быструю передачу к образцу больших количеств тепла. Источником тепла может служить газ-носитель или материал испарителя. [40]
Металлизация вакуумным напылением является сравнительно простым методом нанесения электропроводящей пленки на поверхность облученного полиэтилена. На структуру и физические свойства осаждаемой металлической пленки влияют материал испарителя, скорость испарения, давление в камере, температура подложки и чистота ее поверхности. Повышение скорости испарения и создание более глубокого вакуума улучшают качество металлопокрытия. [41]
Во взрывных испарителях с помощью вибродозатора сбрасывают очень малые дозы ( 10 - 50 мг) порошка испаряемого материала. Кратковременность ( до 0 1 с) взаимодействия с материалом испарителя создает благоприятные условия, близкие к тем, какие характерны для лазерного импульсного испарения. [42]
Разложение испаряемых в вакууме окислов может быть следствием химического взамодействия окислов с материалом испарителя. Такое взаимодействие протекает с большой скоростью при использовании в качестве материала испарителя графита или тугоплавких металлов. Для предотвращения или по крайней мере для резкого снижения скорости процесса восстановления окислов материал испарителя часто покрывают платиной. При использовании угольных испарителей процесс восстановления сопровождается образованием карбида соответствующего металла и окиси углерода. [43]
Следует, однако, помнить, что некоторые металлы ( например, А1) образуют с материалом испарителя сплавь с низкой температурой испарения. В связи с этим для испарителей таких металлов следует подбирать определенное соотношение сечений материала испарителя и испаряемого вещества. Для А1 применяются испарители в виде множества вольфрамовых проволочек, обладающие значительно большей смачивающей поверхностью. [44]
Наиболее широко применяются вольфрам, молибден и тантал. Иногда для осаждения материалов, которые испаряются при температурах ниже 1000 С, в качестве материала испарителей используются платина, железо или никель. [45]
Страницы: 1 2 3 4