Cтраница 3
Электромагнитные катушки играют роль стабилизатора катодного пятна на заданной поверхности распыляемого материала, фокусировки и ускорения потока напыляемых частиц, отклонения потока заряженных частиц с целью сепарации потока. [31]
Сущность катодного распыления заключается в бомбардировке катода, изготовленного из распыляемого материала, ионизированными атомами газа. Бомбардировка приводит к распылению материала катода в атомарном состоянии. [32]
Указанных недостатков лишены системы газопламенного напыления, использующие в качестве распыляемого материала стержни, изготовленные высокотемпературным спеканием или экструзией порошков со связующим. Малая длина стержней не дает возможности выполнять процесс напыления непрерывно, что ограничивает возможности применения данного метода. [33]
Недостатком указанной на рис. 33 конструкции является взаимное загрязнение катодов распыляемым материалом. Для уменьшения этого эффекта внутренний диаметр катодов, по-видимому, следует выбирать меньше, а давление постороннего газа больше, чем в обычных конструкциях. [34]
Немаловажное значение для уменьшения потерь материала при распылении имеет размер капли распыляемого материала. Необходимо, чтобы размер капли был наименьшим, потому что такие капли получают достаточный заряд в поле коронного разряда и благодаря этому легко двигаются по силовым линиям поля. Если капли имеют большой размер, то они не получают необходимого заряда, а следовательно, при своем движении будут отклоняться от направления силового поля, выпадать из него, в результате чего возрастают потери лакокрасочного материала. [35]
Исследования различных вариантов технологических процессов показали, что в зависимости от распыляемого материала и скорости испарения, условий напыления, состава остаточных газов в вакуумной камере и последующей обработки в тонких пленках могут возникать как растягивающие, так и сжимающие напряжения. [36]
Не менее важным достоинством данного способа распыления является постоянный химический состав распыляемого материала, в то время как при термическом испарении материала его компоненты испаряются с различной скоростью, вследствие чего состав пленки сильно отличается от состава исходного материала. [37]
Сжатый воздух используется только для привода насоса, создающего высокое давление на распыляемый материал. [38]
На том же рисунке показано расположение подложки, на которую осуществляется осаждение распыляемого материала. [39]
Распылитель ( испаритель) должен обеспечивать минимальные потери энергии, подводимой к распыляемому материалу. [40]
Возможность достижения в препарируемой пленке того же состава, что и в распыляемом материале, делает метод катодного распыления одним из наиболее перспективных способов получения слоев полупроводников и диэлектриков. [41]
Большое влияние на распределение и частично на величину пористости покрытия оказывает гранулометрический состав распыляемого материала. [42]
Краскораспылитель С-592. [43] |
Одновременно игла 4, перемещаясь вправо, открывает отверстие сопла 3 для поступления распыляемого материала. [44]
Магнетронные системы ионного распыления относятся к системам распыления диодного типа, в которых атомы распыляемого материала удаляются с поверхности мишени при ее бомбардировке ионами рабочего газа ( обычно Аг), образующимися в плазме аномального тлеющего разряда. [45]