Распыляемый металл

Cтраница 2

Интенсивное катодное распыление приводит к напылению металла на стенки, причем распыляемый металл также интенсивно поглощает откачиваемые газы. При этом не наблюдается состояния насыщения, так как слой напыленного металла непрерывно возобновляется. [16]

Показатели режима напыления устанавливаются в зависимости от типа металлизационной аппаратуры, распыляемого металла и металлизируемого материала. Металлизация поверхности изделий из пластических масс чаще всего выполняется проволочными или порошковыми газопламенными ( ацетилено-кислородными) аппаратами. Рациональной является и металлизация электродуговым способом, при котором исключается опасность перегрева металлизируемых предметов газами сгорания. [17]

Опыт показывает, что при катодном распылении происходит усиленное поглощение газа распыляемым металлом. [18]

Чем выше энергия бомбардирующих ионов аргона, тем глубже они проникают в распыляемый металл. При увеличении энергии ионов до нескольких десятков электрон-вольт интенсивность распыления становится настолько высокой, что каждый ион способен удалить несколько атомов металла. Число удаленных атомов металла, приходящихся на один ион, называют коэффициентом распыления. [19]

Определение высоты объекта м. [20]

Эта формула неточна, так как предположение о сферической симметрии в распределении распыляемого металла не подтверждается. [21]

Вредность работ по металлизации связана с загрязнением окружающего воздуха пылью и парами распыляемого металла, а также действием света газового пламени или электрической дуги. [22]

В колпак вмонтирован ввод высокого напряжения, соединенный с приспособлением для крепления распыляемого металла, служащего катодом; анодом является металлическая плита. [23]

Химический состав покрытия несколько отличается от химического состава применяемой проволоки, так как распыляемый металл подвергается действию высокотемпературного газового потока пламени и потока воздуха. Вполне закономерным является выгорание и уменьшение содержания элементов, имеющих большое сродство к кислороду ( например, С, Mn, Si, Сг при металлизации стальной проволокой), причем при газовой металлизации выгорание значительно меньше, чем при электрической. Для получения покрытий без окислов сжатый воздух надо заменить азотом или аргоном. [24]

Схема прибора для получения золей металлов электрическим методом. [25]

Способ получения золя электрическим распылением металла нельзя отнести полностью к дисперсионному, так как распыляемый металл в пламени электрической дуги, попадая в растворитель, благодаря низкой температуре последнего тут же конденсируется, образуя золь. Поэтому этот метод с одинаковым правом может быть отнесен и к конденсационному. Описанный способ из-за высокой температуры электрической дуги не может распространяться на получение коллоидных систем в органических жидкостях, так как последние обугливаются. [26]

В описываемом методе есть еще один недостаток, состоящий в том, что атомы распыляемого металла отскакивают от маски и вновь осаждаются на участках в междусеточном пространстве рисунка. Все эти методы требуют введения дополнительной операции металлизации в процессе формирования рисунка для изготовления маскирующего слоя. Если все эти дополнительные операции приемлемы, то всегда можно подобрать подходящий материал для создания маскирующего слоя с последующим химическим травлением. Этот процесс занимает довольно мало времени и экономически более выгоден [ см. например, травление пленок Si3N4, разд. ЗГ, 13) или тантала, разд. [27]

Схема простейшей установки для катодного распыления металлов.| Схема рабочей камеры для ионно-плазменного распыления металлов и полупроводников. [28]

Скорость распыления катодов зависит от энергии, угла падения и природы ионов-бомбардировщиков, природы распыляемого металла, геометрических факторов. Энергия бомбардирующих ионов возрастает с увеличением массы ионов и анодного напряжения. [29]

Плотность наносимой металлической пленки зависит от расстоя ния металлизационного аппарата до обрабатываемой поверхности, свойств распыляемого металла и характера поверхности. [30]

Страницы: 1 2 3 4