Cтраница 4
![]() |
Вакуумное напыление тонких металлических пленок. [46] |
Колпак напылителя 1, герметизирующий всю систему, устанавливают на монтажном столе. Распыляемый металл должен быть высокой чистоты. Испаритель нагревается до тех пор, пока давление паров испаряемого металла не превысит давления в вакуумной системе. [47]
Распыляемый металл подвергается расплавлению либо вне металлизатора - в плавильной печи, либо в тигле распылительной головки. В последнем случае для плавления металла обычно используется энергия электрического тока. Распыление струи жидкого металла осуществляется горячим сжатым воздухом. [48]
Среди физических газоразрядных методов наибольшую популярность имеет метод катодного распыления металлов. Распыляемый металл ( мишень) крепится на катоде, либо сам является катодом, а на аноде помещают детали, подлежащие напылению. [49]
Для получения пленок из тугоплавких материалов применяют катодное распыление. Распыляемый металл служит катодом. [51]
При нанесении покрытий распыленным металлом загрязняется газами воздух, вредные излучения дает электрическая дуга. Часть распыляемого металла оседает на окружающих предметах или попадает в воздух в виде мелкой пыли. [52]
Железные гранулы получают распылением проволоки при помощи воздуха. Струю распыляемого металла направляют в бак с водой, где и происходит мгновенное застывание металла. Изменяя диаметр исходной проволоки, давление воздуха, температуру пламени металлизатора и расстояние выходного отверстия металлизатора от бака с водой, можно получить гранулы различных размеров. [53]
К двум электродам из распыляемого металла, погруженным в воду или водный раствор, подводят ток напряжением 100 в и силой несколько ампер, причем расстояние между электродами изменяют таким образом, чтобы образовалась электрическая дуга. [54]
![]() |
Оборудование для производства тонкопленочных схем. [55] |
Сделанный из нескольких витков распыляемого металла индуктор создает внутри себя плазму инертного газа. Ионы газа бомбардируют спираль, в результате чего происходит распыление. Без дополнительного электрода получаются тонкие пленки со скоростью осаждения от 0 1 до 0 5 мкм / мин. [56]
Метод катодного распыления мета л л а применяется в тех случаях, когда высокая температура кипения тугоплавкого металла не позволяет успешно применить метод испарения в вакууме. В вакуумной камере помещают катод из распыляемого металла и анод, соединяемый с положительным зажимом источника высокого напряжения порядка нескольких киловольт. [57]
Наличие окислов на поверхности распыленного металла ( и особенно тугоплавких) ухудшает прочность связи с изделием. Количество окислов и покрытий может быть уменьшено за счет подбора состава распыляемого металла в соответствии с условиями нагрева и распыления. [58]