Cтраница 3
Возможны и другие комбинации. Их практическая ценность зависит от технических возможностей и свойств получаемых металлизацией изделий. [31]
Большинство устройств образовано, в основном, тонкопленочными металлическими элементами, такими, как ВШП, нанесенными на кристаллическую пьезоэлектрическую подложку. При изготовлении используется метод фотолитографии, иллюстрируемый рис. 1.7. Подложку тщательно полируют для получения оптически плоской поверхности, а затем очищают от посторонних частиц и обезжиривают. На следующем этапе образец покрывают фоторезистом - раствором фоточувствительного полимера и вращают с большой скоростью, стремясь получить тонкий однородный слой. На фотошаблоне имеются непрозрачные области из фотоэмульсии или пленки хрома, соответствующие топологии металлизации изделия. [32]