Диазид
Cтраница 1
Диазид имеет полосу поглощения при 240 нм, полимер - при 280 нм, в целом далее 320 нм слой резиста свет не поглощает, что отвечает требованиям к таким резистам. В отличие от системы НС - хинон-диазид и других аналогичных композиций, 3 3 -диазидодифенил-сульфон не влияет на растворимость полимера в проявителе - водном растворе ( CHa NOH. Поскольку резист интенсивно поглощает свет и после экспонирования его спектр меняется мало, очевидно, что в микронном слое сшивание полимера идет интенсивно только с поверхности. Поэтому проявление неполностью сшитого в объеме слоя полимера может рассматриваться как своеобразное травление. С ростом продолжительности проявления возрастает и подтравливание, профиль края рельефа приобретает вид, типичный для взрывной литографии ( см. гл. Очевидно, при проявлении надо тщательно соблюдать оптимальные условия. Светочувствительность резиста MRS-1 в 100 раз выше, чем у ПММА, что при высоком разрешении и хорошей стойкости к плазменному травлению открывает перспективы его практического использования. [1]
Диазид имеет полосу поглощения при 240 нм, полимер - при 280 нм, в целом далее 320 нм слой резиста свет не поглощает, что отвечает требованиям к таким резистам. Поскольку резист интенсивно поглощает свет и после экспонирования его спектр меняется мало, очевидно, что в микронном слое сшивание полимера идет интенсивно только с поверхности. Поэтому проявление неполностью сшитого в объеме слоя полимера может рассматриваться как своеобразное травление. С ростом продолжительности проявления возрастает и подтравливание, профиль края рельефа приобретает вид, типичный для взрывной литографии ( см. гл. Очевидно, при проявлении надо тщательно соблюдать оптимальные условия. Светочувствительность резиста MRS-1 в 100 раз выше, чем у ПММА, что при высоком разрешении и хорошей стойкости к плазменному травлению открывает перспективы его практического использования. [2]
Диазиды кобальта ( П) в AN, ТМР и DMSO [27] имеют тетраэдрическое строение. [3]
Диазид РЬ ( К3) 2 известен в четырех кристаллич. Наиб, устойчива а-форма, все остальные переходят в нее при повышении т-ры или в р-ре при стоянии. Для а - и р-форм плотн. С разлагается со взрывом без плавления. [4]
 |
Зависимость квантового выхода фоторазложения. [5] |
При фотолизе диазида выделяется азот и образуются различные стабильные соединения. [6]
Продукты разложения диазидов нерастворимы в обычных органических растворителях, в воде и щелочах, весьма мало растворимы в димеТилформамиде и диоксане и растворяются на холоду в концентрированной серной и соляной кислотах. Свободных изоцианатных групп в бензольном ( то-луольном) растворах на разных стадиях нагревания ( по титрованию диэтиламином [8]) также обнаружено не было. Молекулярный вес по Расту и эбулиоскопически определить не удалось ввиду нерастворимости продуктов камфоре и низкой растворимости в диоксане. По элементарному анализу продукты перегруппировки диазидов пиридиндикарбоновых кислот содержат завышенное по сравнению с диизоцианатами количество углерода и азота, что связано с наблюдаемым нами выделением углекислого газа. [7]
 |
Зависимость квантового выхода фоторазложения. [8] |
При фотолизе диазида выделяется азот и образуются различные стабильные соединения. [9]
Длительный фотолиз диазида I в этаноле или гексане сопровождается однотипным превращением хромофора молекулы, что констатируется по падению поглощения в области 360 нм. Образование аминохалконов, поглощающих при 400 - 450 нм, если и имеет место, т в очень незначительной степени. [10]
Эффективность фотораспада диазида I в полимерах обычно выше, чем в растворах. Структурные изменения в молекуле заметно влияют как на квантовый выход фоторазложения, так и на реакционную способность нитренов в полимере, что продемонстрировано на примере структурирования циклополиизопрена. [11]
Длительный фотолиз диазида I в этаноле или гексане сопровождается однотипным превращением хромофора молекулы, что констатируется по падению поглощения в области 360 нм. Образование аминохалконов, поглощающих при 400 - 450 нм, если и имеет место, то в очень незначительной степени. [12]
Эффективность фотораспада диазида I в полимерах обычно выше, чем в растворах. Структурные изменения в молекуле заметно влияют как на квантовый выход фоторазложения, так и на реакционную способность нитренов в полимере, что продемонстрировано на примере структурирования циклополиизопрена. [13]
Получен из предыдущего диазида. [14]
Композиции очувствляются диазидом I и 4 4 -диазидостильбен - 2 2 -дисульфокислотой ( диазидом III) [ пат. [15]
Страницы: 1 2 3