Микроинтерферометр
Cтраница 1
 |
Микроинтерферометр МИИ-4. а - схема. б - метод измерения. в - внешний вид. [1] |
Микроинтерферометры применяют для измерения шероховатости поверхности по параметрам Ra и Rz. Оптическая схема ( рис - 140 а) представляет собой сочетание интерферометра и микроскопа. [2]
Микроинтерферометр Линийка позволяет определять тонко обработанные поверхности, измеримые десятыми долями микрона, с увеличением от 40 д 1100 раз. Часть лучей, отраженных этим зеркалом, попадает на исследуемую поверхность 6, отразившись от которой дает изображение этой поверхности в окуляре. Другая часть лучей, отразившись от зеркала 4, проходит в обратном направлении, и отражаясь зеркалом 5 в окуляр, накладывается на полученное ранее изображение исследуемой поверхности. Ввиду того, что зеркало 4 расположено под небольшим углом к оси, создается разность фаз первого и второго пучков, что дает интерференционную картину. Двойной микроскоп Линийка позволяет определять микрогеометрию поверхности по максимальной высоте неровностей. На этом приборе иельзя измерить микрогеометрию тонкообработанных поверхностей, имеющих максимальную высоту неровностей менее 4 мк, и, следовательно, такой микроскоп неприменим для оценки поверхностей, подвергнутых отделочным операциям ( притирка, хонинг. [3]
Микроинтерферометр крайне затруднительно применять для исследования поверхностей с нерегулярными неровностями или беспорядочными следами обработки, так как беспорядочное искривление интерференционных полос настолько искажает интерференционную картину, что становится невозможным измерение профиля. [4]
Микроинтерферометры используют для измерения шероховатости поверхностей 10 - 14-го классов чистоты по показателю Кг. В поле зрения прибора наблюдаются искривленные интерференционные полосы соответственно профилю микронеровностей на рассматриваемом участке поверхности. Высота этих искривлений измеряется окулярным микрометром при увеличении в 490 раз. Фотографирование производится при увеличении в 290 раз. [5]
Микроинтерферометр служит для исследования наиболее чистых поверхностей. [6]
 |
Схема двухлучевого микроинтерферометра Линника. [7] |
Микроинтерферометр может быть выполнен и с одним объективом. При этом светоделительное зеркало и эталон размещаются между микрообъективом и контролируемой поверхностью. [8]
Микроинтерферометры обычно снабжают устройством для фотографирования интерференционной картины. [9]
 |
Профилограммы и круглограмма обработанной поверхности. [10] |
Микроинтерферометры ( МИИ-4) используют для измерения шероховатости поверхностей Rz 0 025 ч - 0 6 мкм. Интерференционные полосы искривляются соответственно профилю микронеровностей на рассматриваемом участке поверхности. Высоту этих искривлений измеряют окулярным микрометром при увеличении в 490 раз. Фотографирование производят при увеличении в 290 раз. Микроинтерферометры применяют при лабораторных исследованиях и производственном контроле прецизионных деталей. [11]
Микроинтерферометр позволяет рассматривать узкую щель поверхности, на которой следы обработки расположены произвольно. В поле зрения прибора наблюдается серия профилограмм, записанных в разных масштабах и уменьшающихся от фиолетовой полосы к красной. [12]
 |
Схема двухлучевого микроинтерферометра Линника. [13] |
Микроинтерферометр может быть выполнен и с одним объективом. При этом светоделительное зеркало и эталон размещаются между микрообъективом и контролируемой поверхностью. [14]
 |
Схема двухлучсвого микроинтерферометра Лшишка. [15] |
Страницы: 1 2 3 4 5