Микроинтерферометр

Cтраница 4

Общее увеличение микроинтерферометра МИИ-4 составляет 490 при визуальном наблюдении и 260 при фотографировании. [46]

Измерение шероховатости микроинтерферометром МИИ-4 В. П. Лин-ника основано на использовании явлений интерференции. В этом приборе интерференционные картины образуются в результате наложения световых лучей, отраженных от поверхности контролируемой детали, и световых лучей, отраженных от образцового зеркала, поверхность которого можно считать практически абсолютно гладкой. Изображение поверхности вместе с интерференционными полосами ( схема участка интерферограммы поверхности показана на рис. 7.27) рассматривается через окуляр. [47]

Применяемый в микроинтерферометре МИИ-4 и в других микроинтерферометрах винтовой окулярный микрометр 1 MOB-1 - 15х ( АМ-9-2м) состоит из 15-кратного компенсационного окуляра с диоптрийной наводкой, позволяющей производить коррекцию глаз наблюдателя, и измерительной части, включающей две прозрачные пластины. На неподвижной пластине нанесено восемь делений с интервалом 1 мм, а на подвижной - перекрестие и двойной штрих, как показано на рис. 22, г. Подвижную пластину перемещают вращением барабана микрометренного винта ( с шагом 1 мм) под углом 45 по отношению к линиям перекрестия. [48]

Микроинтерферометр. а и б - искривления интерференционных полос. в - оптическая схема. [49]

Интерференционные микроскопы ( микроинтерферометры) В. П. Линника имеют различные конструктивные разновидности. [50]

Интерференционные микроскопы ( микроинтерферометры) предназначены для визуальной оценки, измерения и фотографирования высоты неровностей до 1 мкм. [51]

Аналогичное устройство имеет микроинтерферометр МИИ-5, являющийся упрощенной моделью рассмотренного выше прибора. У микроинтерферометра МИИ-5 отсутствуют светофильтр, устройство для поворота полос и изменения ширины полос, фотокамера и горизонтальное перемещение стола. [52]

Отечественная промышленность выпускает микроинтерферометр МИИ-10, являющийся разновидностью МИИ-4 со специально пониженной чувствительностью. Он предназначен для измерения шероховатости сравнительно грубых поверхностей с параметрами шероховатости Ra от 2 5 мкм до 0 04 мкм. [53]

В поле зрения микроинтерферометра одновременно видны интерференционные полосы и измеряемая поверхность. [54]

Идея предложенных В. П. Линником микроинтерферометров заключается в сочетании интерферометра Майкельсона с измерительным микроскопом, что позволяет получать увеличенное в нужное число раз изображение интерференционной картины в поле зрения микроскопа и измерять координатным методом вырисовывающиеся таким образом неровности с помощью обычного винтового окулярного микрометра. [55]

Основные характеристики трех микроинтерферометров приведены в табл. III. МИИ-4 отличается от обычных двухлучевых интерферометров наличием двух микрообъективов большой апертуры. [56]

Майкельсона для создания микроинтерферометра высокочувствительного прибора, служащего для контроля чистоты обработки поверхностей металлических изделий. Основным элементом микроинтерферометра Линийка является стеклянный кубик А ( рис. 31.15), состоящий из двух половин, склеенных до диагональной плоскости. Одна из склеиваемых поверхностей полупосеребрена. Ход лучей в интерферометре показан на рис. 31.15, где ВС исследуемая плоская поверхность, а 3 плоское зеркало. Двугранный угол между зеркалом и поверхностью ВС отличается от к / 2 на малую величину а. [57]

При фотографировании на микроинтерферометре или двойном микроскопе используют высокочувствительную пленку и нужную длину профиля получают, снимая соседние участки поверхности образца, перемещаемого микрометром предметного стола. На двойном микроскопе для определения масштаба предварительно фотографируют шкалу объект-микрометра. Полученные фотографии интерференционной картины или светового сечения устанавливают на проекторе с увеличением 10 или 20 и вычерчивают профилограмму на миллиметровой кальке. Для определения масштаба профилограммы, полученной на микроинтерферометре, на одном из участков вычерчивают контур двух соседних полос. Вычерченные профилограммы обрабатывают теми же способами, что и профилограммы, записанные на щуповом профилографе. [58]

Микроинтерферометр МИИ-15. [59]

Прибор построен по схеме двухобъективного микроинтерферометра. При контроле шероховатости поверхностей, имеющих близкий к эталонной поверхности радиус кривизны, интерференционные полосы прямолинейны и эквидистантны. Это особенно важно при контроле деталей малых размеров. [60]

Страницы: 1 2 3 4 5