Микроинтерферометр
Cтраница 3
Микроинтерферометр МИИ-4 предназначен для измерения шероховатости с высотой неровностей 0 8 - 0 1 мкм. [31]
 |
Двойной микроскоп. [32] |
Микроинтерферометр МИИ-4 ( рис. 11.158) имеет высокие эксплуатационные качества. [33]
 |
Прибор теневого сечения ПТС-1.| Двухлучевой микроинтерферометр МИИ-4. [34] |
Микроинтерферометр МИИ-10 в одной оптической схеме объединяет два различных микроинтерферометра: обычный двухлучевой микроинтерферометр типа МИИ-4 и микроинтерферометр, позволяющий реализовать иммер-сионно-репликовый метод исследования микрорельефа поверхности, предложенный Цеендором. Особая конструкция узла референтного зеркала и применение двух раздельных осветительных систем позволяют совместить два прибора. Иммерсионно-репликовым методом прибор позволяет измерить неровности высотой от 1 до 10 мкм, и обычным методом от 0 05 до 1 мкм. [35]
Микроинтерферометр модели МИИ-10 предназначен для измерения сравнительно грубых поверхностей, имеющих высоту микронеровностей от 0 1 до 10 мкм. В микро-интерферометре контролируется реплика ( отпечаток), получаемая на специальной пленке. Пленка помещается в камеру с иммерсионной жидкостью. Благодаря этому могут быть измерены неровности внутренних поверхностей, а также труднодоступных частей детали. [36]
Технические данные микроинтерферометров и двойных микроскопов Линника и профилографов Левина см. том 11, гл. [37]
Использование микроинтерферометра для измерения неровностей поверхности основано на явлении интерференции света, которое можно наблюдать с помощью специального оптического устройства. Микроинтерферометры применяют в лабораторных условиях для оценки наиболее чистых поверхностей с неровностями высотой в пределах 0 02 - 2 мк. [38]
Особенно распространены микроинтерферометры, разработанные акад. [39]
При измерениях микроинтерферометр МИИ-4 устанавливают вдали от источников вибраций на основании 24 ( рис. 22, в) с демпфирующей подкладкой. Контролируемую деталь 18 кладут на координатный предметный столик 29 измеряемой поверхностью вниз. [40]
С помощью микроинтерферометра в отраженном свете были исследованы разные поверхности излома. [41]
Принцип действия микроинтерферометра такой же, как и обычного, но отличается тем, что в качестве одной из поверхностей, которая создает интерференционную картину, используется измеряемая поверхность. А это значит, что прибор предназначен для измерения поверхностей с малыми неровностями, так как на грубых поверхностях интерференцию получить невозможно. В принципе микроинтерферометр представляет сочетание интерферометра и микроскопа. [42]
 |
Микроинтерферометр МИ И 4. [43] |
Оптическая схема микроинтерферометра МИИ-4 ( рис. 2) представляет собой сочетание интерферометра Майкельсона с микроскопом. [44]
В схеме микроинтерферометра МИИ-4 ( рис. 3.32) от лампы / через конденсор 2 апер-турную диафрагму 3, полевую диафрагму 4 и объектив 5 пучок лучей падает на пластину 8 с полупрозрачным слоем и разделяется на два пучка когерентных лучей примерно одинаковой интенсивности. Объектив 5 и пластина 8 проецируют изображение апертурной диафрагмы в плоскости зрачков входа одинаковых микрообъективов 6 и 10, а изображение полевой диафрагмы - в бесконечность. Компенсационная пластина 9 уравнивает длины хода в стекле двух пучков лучей. [45]
Страницы: 1 2 3 4 5