Cтраница 5
Мощные установки для выращивания монокристаллов кремния большой массы укомплектовывают манипуляторами. Они извлекают выращенный монокристалл из шлюзовой камеры установки и транспортируют его к установкам автоматического измерения удельного сопротивления. [61]