Cтраница 4
Моносилан SiH4 неустойчив уже при комнатной температуре, а при температурах выше 600 С он разлагается очень быстро. Поэтому появляется возможность выращивания эпитаксиальных пленок кремния при сравнительно низких температурах. Благодаря низкой температуре подложки не только уменьшается диффузия из нее примесей в растущую пленку, но и сводится к минимуму выделение загрязняющих примесей из подставки, на которой располагаются подложки. Кроме того, пиролиз силана практически необратим. Благодаря этому исключаются некоторые нежелательные явления, сопровождающие взаимодействие тетрахлорида с подложкой и пленкой, и более точно может быть обеспечено заданное удельное сопротивление растущей пленки. Отрицательной стороной силанового процесса является нестабильность SiH вследствие которой реакция может зарождаться в газовой фазе, где будут образовываться частички кремния произвольной ориентации. Эти частички, садясь на растущую пленку, могут нарушать ее монокристалличность. Однако, изменяя условия процесса, можно добиться того, что частички кремния в газовой фазе образовываться не будут. [46]
При гетерогенном распаде на границах зерен и ячеистом распаде вид структуры материала определяется увеличением микроскопа. Если увеличение невелико, микроструктура представляет собой темные зоны повышенной тра-вимости. NaCl - КС1, возникновение зон гетерогенности микроструктуры наблюдается. Если увеличение достаточно велико, зоны гетерогенного рарпада на границах зерен проявляются в виде скоплений произвольно ориентированных выделений ( напр. Площадь, ( занимаемая ими, растет; однако между исходным твердым раствором и зонами распада нет четкой границы раздела. При ячеистом механизме зоны распада ( ячейки) имеют эвтектоидоподобную структуру и состоят из чередующихся пластинок фазы выделения и обедненного твердого раствора с кристаллической структурой исходного твердого раствора, но с отличной от него кристаллографической ориентацией. Зона распада отделена от исходного твердого раствора высокоугольной границей раздела, к-рая перемещается в процессе ее роста. Образование и рост зон могут сопровождаться непрерывным ( напр. В отличие от др. механизмов старения при ячеистом распаде происходит диспергирование кристаллической структуры материала. Исходный монокристалл в процессе старения превращается в поликристалл. Восстановлению монокристалличности способствует длительный гомогенизирующий отжиг, напр. [47]