Графитовый нагреватель
Cтраница 3
 |
Крышка трехтонной плавильной индукционной печи с индуктором ( фирма Херауэс, ФРГ. [31] |
На рис. 165 показана вакуумная печь сопротивления для плавки циркония с графитовым нагревателем. [32]
 |
Схема вытягивания монокристаллов тугоплавкого металла методом Чохральского с применением электронно-лучевого нагрева. [33] |
WC) в тигле из А12О3 помещают в вакуумную печь с графитовым нагревателем и нагревают до 1250 С с выдержкой в течение 5 ч, предназначенной, по-видимому, для обеспечения максимальной растворимости WC в кобальте в твердой фазе согласно двойной диаграмме Со-WC. После указанной выдержки расплав охлаждается со скоростью 50 град за 1 ч до температуры, примерно на 40 С выше тон, при которой осуществляется вытягивание. Монокристалл-затравку помещают на расстояние 1 см от поверхности расплава и выдерживают некоторое время для полного прогрева. [34]
На рис. 5 - 16 показана шахтная вакуумная электропечь СКБ-5117 со стержневыми графитовыми нагревателями. [35]
Измерение температурного поля калориметрической системы осуществляется оптическим пирометром типа ОППИР-09 через отверстия в стенке графитового нагревателя. Первичные измерения характеризуют поле эффективных температур по высоте системы, имеющей определенную геометрическую структуру, и величины спектральной степени черноты поверхностей образца и нагревателя. [36]
Армировка термоэлектродов материалами из AUOs не защищает их от воздействия углерода в печах с графитовыми нагревателями, в то время как армировка материалом из ВеО предохраняет их от воздействия углерода. [37]
Источником таких загрязнений являются необходимый для реализации метода Чохральского кварцевый тигель с расплавом кремния и графитовый нагреватель. На протяжении всего процесса выращивания кристаллов они, естественно, не вступают в контакт с воздухом. Весь процесс идет в среде защитного инертного газа. Благодаря отсутствию тигля зонная плавка позволяет существенно уменьшить содержание примесей кислорода и углерода. Кислород даже оказывает положительное действие: с его помощью удается нейтрализовать вредное влияние атомов тяжелых металлов. Этот эффект носит название ( внутреннее) геттерирование. [38]
Пирографит осаждался из метана на внутренней поверхности графитовой трубки-подложки, которая нагревалась при помощи коаксиаль-но расположенного графитового нагревателя. После нанесения слоя пирографита необходимой толщины подложка удалялась механическим способом, а наружная поверхность образцов тщательно полировалась. [39]
 |
Устройство с графитовым концентратором для выращивания профилированных полупроводников. [40] |
Для управления глубиной расплава и улучшения стабильности температурного поля при отклонениях размеров пьедестала от заданных предусмотрен графитовый нагреватель сопротивления для дополнительного ( так называемого фонового) обогрева боковой поверхности пьедестала. [41]
Подавляющее большинство современных установок для выращивания монокристаллов полупроводников методом Чох-ральского используют ре-зистивный нагрев, осуществляемый с помощью разрезных графитовых нагревателей. [43]
В аппаратах для анализа газов в металлах в настоящее время применяются индукционные печи и печи сопротивления с графитовыми нагревателями. В печах сопротивления обычно имеется большое количество графитовых деталей, что приводит к значительному газоотделению при нагреве, и холостая поправка при 1650 достигает - 0 1 мл за 15 мин. Между тем современные конструкции индукционных печей позволяют получать холостые поправки до 0 01 мл за 15 мин. Однако учитывая тот факт, что печи сопротивления не требуют дорогостоящего оборудования и позволяют применять тигли больших размеров, чем в печах с индукционным нагревом, в ряде случаев они могут быть использованы для определения газов в металлах методом вакуум-плавления. [44]
При производстве карбида бора по этому методу применяются керновые и бескерновые печи, а также печи с графитовым нагревателем в виде труб. Недостатком бескерновой печи является то, что температура неравномерно распределяется по зонам печи. [45]
Страницы: 1 2 3 4