Магниторазрядный насос

Cтраница 1

Магниторазрядные насосы очень чувствительны к загрязнению углеводородами. Например, в работе [152] показано, что после 30 - 40 ч работы с механическим насосом без последовательно включенной ловушки возникновение разряда затруднено. Окисление материала катода приводит к тому, что в области давлений 10 - 7 тор разрядный ток заметно уменьшается. [1]

Магниторазрядные насосы откачивают различные газы с разной скоростью. [2]

Магниторазрядные насосы являются геттероионными и отличаются от испарительных тем, что в них как для распыления геттера, так и для ионизации газов используется высоковакуумный газовый разряд в скрещенных электрическом и магнитном полях. Пластины катода располагают по обе стороны от анода напротив открытых концов его ячеек. Причем электродная система ориентируется так, чтобы линии магнитного поля были перпендикулярны плоскости катодов. Корпус насоса и ячейки анода обычно изготавливают из немагнитного материала, например из нержавеющей стали. Материалом пластин катода служит титан или какой-либо другой химически активный металл. Анод, как правило, укрепляют в корпусе на изоляторах 4, а катод вместе с корпусом заземляют, хотя в некоторых случаях, наоборот, заземляют анод. При подаче на электроды разности потенциалов в несколько киловольт между ними зажигается тлеющий разряд. Возникновение газового разряда обусловлено тем, что в объеме ячейки всегда имеется некоторое число свободных электронов, либо блуждающих, либо появившихся в результате автоэлектронной эмиссии с острых кромок электродов. Под действием электрического поля эти электроны ускоряются, но магнитное поле препятствует их прямолинейному движению непосредственно к аноду, заставляя двигаться по спиральным траекториям взад и вперед в ячейке между катодами, пока, наконец, не попадут на анод. Из-за большой длины пути электронов существует вероятность их столкновения с молекулами газа даже при очень низких давлениях, когда средняя длина свободного пробега электронов в газе во много раз превышает расстояние между анодом и катодом. В результате столкновения с электронами нейтральные молекулы газа ионизируются или активируются. Поскольку магнитное поле слабо влияет на поведение положительных ионов, ввиду их большой массы, то они с ускорением движутся практически по прямолинейным траекториям к катодам. [3]

Насос НЭМ-104В меняют Цеолитовые насосы, охлаж. [4]

Магниторазрядный насос НЭМ-10-1В ( рис. 371) не имеет собственного корпуса и размещен внутри откачиваемой вакуумной системы. Насос состоит из двух секций: каждая имеет собственную магнитную систему и электродный блок, состоящий из анодной сетки и двух титановых катодов. Высокое положительное напряжение подается на аноды через вакуумный токо-ввод, установленный на корпусе откачиваемой системы. [5]

Схема магниторазрядного насоса. [6]

Наиболее распространенными магниторазрядными насосами являются насосы типа НЭМ и НОРД, содержащие в зависимости от производительности десятки и сотни разрядных ячеек, объединенных в электродные блоки, помещенные в корпус. Магнитное поле порядка 700 Э создается постоянными магнитами, расположенными с внешней стороны корпуса. [7]

Насос электроразрядный магнитный НЭМ-30-2. [8]

Достоинством магниторазрядных насосов является постоянство быстроты откачки в широком диапазоне давлений. Работа насоса слабо зависит от величины магнитного поля при полях свыше 1 - 1 5 кгс. [9]

Насос НЭМ-100-2 с блоком питания. [10]

Конструкция магниторазрядных насосов показана на рис. 25 на примере НЭМ-30-2. Секционирование анода применяется для повышения производительности, одна ячейка размером 20x20x15 мм3 при поле 700 гс и напряжении 7 кв обеспечивает быстроту откачки около 0 30 л / сек. Катод выполняется из титана, сочетающего хорошую распыляемость с сорбционной способностью; анод и корпус - из немагнитной стали. Применяют постоянные магниты из оксидно-бариевого материала. Магниты снимают с насосов при их прогреве. [11]

Конструкции магниторазрядных насосов довольно разнообразны, что объясняется различиями в условиях их применения. [12]

Схема одиночной разрядной ячейки насоса. [13]

Принцип действия магниторазрядных насосов заключается в поглощении газов титаном, распыляемым при разряде в магнитном поле. [14]

Применение в магниторазрядных насосах системы охлаждения электродов жидким азотом, как это, например, сделано в насосе типа ТРИОН-150, позволяет достичь более низкого предельного остаточного давления ( до 10 11 мм рт. ст.) и повысить скорость откачки. [15]

Страницы: 1 2 3