Магниторазрядный насос

Cтраница 3

В испарительно-ионных насосах активные пленки создаются путем термического испарения в вакууме накаленной титановой проволоки или штабика. В магниторазрядных насосах титан распыляется бомбардировкой ионами, образованными газовым разрядом. [31]

Криопанели комбинированного конденсационного насоса. [32]

Небольшие адсорбционные насосы широко применяются как удобные безмасляные насосы предварительного разрежения. Они используются в сочетании с испарительными геттерными и магниторазрядными насосами для откачки полностью безмаслянных высоковакуумных систем. [33]

Стеклянный кран. [34]

Минимальная пропускная способность натекателя 10 - 4 л-мк / сек, максимальная 500 л-мк / сек. В лаборатории вакуумные установки для исследования работы магниторазрядных насосов выполнены из тугоплавкого стекла. Кран состоит из конусообразной полой пробки с отверстиями и муфты с патрубками для присоединения к вакуумной системе. Вращением пробки вокруг вертикальной оси патрубки муфты соединяются или разъединяются. [35]

Насос НЭМ-104В меняют Цеолитовые насосы, охлаж. [36]

Срок службы агрегатов ЭРА составляет десятки тысяч часов при рабочем давлении ниже 5 - Ю 6 мм рт. ст. Для них не опасно случайное попадание атмосферного воздуха. Они бесшумны в работе, просты в обслуживании, позволяют оценивать давление в системе по току магниторазрядного насоса. [37]

Испарители изготовляют в иодидных аппаратах со стружкой титана у стенок и с иодом. При нагреве сте-нок до 300 С образуется соединение титана с иодом; затем проволока из молибдена нагревается током до 1300 С, соединение диссоциирует, иод освобождается, а титан оседает на керне очень чистым покрытием. Однако они обладают лучшим отношением быстроты откачки к весу насоса по сравнению с магниторазрядными насосами. [38]

Авторы работы 19 ] описывают использование адсорбционного насоса вместе с магниторазрядным Для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов с крупными оксидными катодами. Параллельное подключение адсорбционного насоса позволило снизить давление до 10 - 4 мм рт. ст. Высокая избирательная способность адсорбционного насоса по окислительным компо-нентам газовой среды ( FbO, CO2) позволяет уменьшить вероятность протекания окислительных процессов. На заключительных стадиях обезгаживания прибора, когда выделение газа резко уменьшалось, адсорбционный насос отключали, так как его предельное давление было выше, чем в магниторазрядном насосе. [39]

Страницы: 1 2 3