Магниторазрядный насос

Cтраница 2

Для понимания работы магниторазрядных насосов, помимо различий в механизме поглощения различных газов, необходимо иметь в виду изменение характера газового разряда с изменением давления. При давлениях больше 10 - Па ток разряда велик вследствие большой электропроводности разрядного промежутка; чтобы разряд при этом не перешел в дуговой, ток разряда специально ограничивается ( в малых насосах используется балластное сопротивление R, показанное на рис. 7.41, в крупных насосах используют более сложные электрические цепи), что приводит к уменьшению падения напряжения на разрядном промежутке. При этом уменьшается энергия ионов и, следовательно, резко снижается скорость распыления материала катодов. Поэтому быстрота действия насоса при высоких давлениях невелика, а относительно большой ток вызывает разогрев электродов и сильное газовыделение, вследствие чего давление в системе повышается. В этих условиях целесообразно продолжать откачку насосом предварительного разрежения до начала периода пуска, когда эффект откачки магнитным электроразрядным насосом становится заметным. [16]

Необычайная простота конструкций магниторазрядных насосов сочетается с большой сложностью процессов, протекающих в них. [17]

Как отмечалось, недостатком магниторазрядных насосов является длительный период пуска. Кроме того, неохлаждаемые диодные магнитные электроразрядные насосы не могут длительно работать при давлениях больше 10 - 3 Па из-за перегрева электродов. [18]

Таким образом, в магниторазрядном насосе автоматически регулируется скорость распыления катодов, что обеспечивает экономное расходование геттера и длительный, в несколько десятков тысяч часов, ресурс работы. [19]

Откачка инертных газов в магниторазрядных насосах происходит в основном на катодах путем внедрения в них быстрых ионов, которые после нейтрализации удерживаются силами физической адсорбции. Непрерывно напыляемый титан замуровывает сорбированные молекулы. Распыление материала катода ведет к высвобождению части молекул газа, поэтому в основном они удерживаются лишь на периферии катода, где скорость распыления меньше скорости напыления титана. [20]

Механизм откачки отдельных газов в магниторазрядных насосах во многом сходен с механизмом, определяющим работу испарительных геттерных насосов. Однако интенсивная ионизация и диссоциация молекул откачиваемого газа в газовом разряде делают ма гниторазрядный насос более эффективным средством откачки инертных газов, углеводородов и других сложных молекул. [21]

Отечественной промышленностью в настоящее время освоено производство ряда магниторазрядных насосов, имеющих оптимизированные типовые узлы. Серия насосов типа НМД ( НЭМ) включает семь неохлаждаемых насосов диодного типа с быстротой действия от 6 до 1000 л / с: НМД-00063; НМД-0025; НМД-0063; НМД-01; НМД-025; НМД-063 и НМД-1. [22]

Какие меры предосторожности необходимо применять при работе с магниторазрядными насосами. [23]

Более универсальной безмасляной вспомогательной системой является система с магниторазрядным насосом. [24]

Магниторазрядный насос ГДР. [25]

Триодный магниторазрядный насос ТРИОН-150 с охлаждаемыми электродами отличается от других магниторазрядных насосов более низким предельным давлением, способностью откачки в очень широком интервале давлений, повышенным давлением запуска. Электроды охлаждаются водой или жидким азотом. Благодаря однопотенциальной триодной схеме насос имеет увеличенную скорость откачки инертных газов. Корпус насоса сделан из корро-зионностойкой стали. Охлаждаемые электроды ( анод и коллектор) изготовлены из меди и приварены к азотопроводу, связанному с сосудом для жидкого азота. При охлаждении водой сосуд снимают и к азотопроводу присоединяют водопроводную линию. Катоды сделаны из титана. [26]

В таких системах магнитные поля основных устройств используются и для ооеспечения раооты так называемых встроенных магниторазрядных насосов, что делает установки и приборы в целом Оолее компактными и более надежными в эксплуатации. Однако в связи с возможной неоднородностью магнитного поля может потребоваться соответствующая корректировка геометрии электродной системы. [27]

Сравнительно низкая быстрота откачки системы по водороду объясняется тем, что водород не конденсируется на криопанели, охлажденной до температуры 20 К, и откачивается только магниторазрядным насосом. [28]

Схема лабораторной установки к работе. [29]

ВН-2; 2 - паромасляный диффузионный насос Н-5 С; 3 - переходный вакуумный объем; 4 - высоковакуумный вентиль; 5 - вакуумметр ВИТ-1А; в - манометры ЛТ-2 и ЛМ-2: 7 - полупроводниковая ловушка ТВЛ-300; 8 - манометр ИМ-12; 9 - насос электроразрядный магнитный НЭМ-300; 10 - вакуумметр ВИ-12; 11 - блок питания к магниторазрядному насосу БПНЭМ-300; 12 - пульт включения вспомогательных насосов. [30]

Страницы: 1 2 3