Cтраница 1
Сорбционные насосы не перекачивают газ из объема наружу, а поглощают его на своих внутренних поверхностях. Они бывают трех видов. [1]
Сорбционные насосы, которые осуществляют откачку газов их сорбцией на поверхности или в объеме твердых тел. В эту группу входят и адсорбционные насосы, в которых откачка происходит вследствие обратимой физической адсорбции газа при низкой температуре. [2]
![]() |
Схема вакуумной установки для проведения химической сборки твердых веществ. [3] |
Сорбционный насос / / служит только для удаления реагентов и продуктов реакции. [4]
Сорбционные насосы, например цеолитовые, как уже отмечалось, успешно могут быть использованы в установках в качестве насосов предварительного разрежения. [5]
Подсоединить сорбционный насос к контуру через вентили VI и V2, каждый из которых должен быть закрыт. [6]
В настоящей главе рассматриваются наиболее распространенные сорбционные насосы, в которых сорбция газов осуществляется пленками испаряемых химически активных металлов-геттеров. Это испарительные геттерныел магнитные электроразрядные насосы. [7]
Применение титановых газопоглотителей в виде сорбционных насосов дает возможность на 30 - 40 % сократить1 продолжительность откачки многих мощных приборов и значительно улучшить вакуум, создаваемый откачными системами постов. [8]
Поэтому более эффективной является комбинация одноступенного сорбционного насоса с вращательным масляным, используемым для предварительной откачки. В этом случае возможность попадания паров масла из насоса в вакуумную камеру очень небольшая, поскольку криосорбционный насос действуе. Несмотря на проблему неона, Бэннок [90] с помощью криосорбционной откачки получил предельный вакуум 10 - 6 мм рт. ст., но он, по-видимому использовал очень малое соотношение объем / вес. [9]
В качестве геттерного материала в высоковакуумных сорбционных насосах, используемых в установках для тепловой микроскопии, чаще всего служит титан, распыляемый при температуре 1700 - 2000 С. [10]
Недостатком цеолитовых насосов, как и других сорбционных насосов с пористыми сорбентами, является их неспособность поглощать значительные количества гелия. Поэтому при использовании гелиевых течеискателей для поисков неплотностей в вакуумной системе установки гелий следует удалять путем промывки ( или продувки) систем воздухом или азотом, так как в противном случае откачка системы до достаточно хорошего вакуума существенно затрудняется. [11]
Какие вещества применяются в качестве поглотителей в сорбционных насосах. [12]
После включения ионных насосов стеклянные трубки, ведущие к сорбционным насосам, отпаивают и далее систему откачивают только ионными насосами. [13]
![]() |
Схема устройства типичной СВВ-системы для исследования поверхностей. [14] |
СВВ-диффузионного насоса, за которым можно поставить еще и ротационный, но не сорбционный насос. [15]