Сорбционный насос
Cтраница 3
К этой же категории принадлежит тантал, заменяемый в последнее время цирконированным молибденом и титаном. За последнее время в некоторых мощных приборах получили применение распыляемые титановые поглотители, изготавливаемые в виде деталей различной формы из компактного металла; эти поглотители часто используются также в качестве сорбционных насосов для повышения скорости откачки приборов при едновремен-ном улучшении их вакуума. [31]
Подготавливают цеолит и проверяют его работоспособность для создания определенного вакуума. Свежепрокаленный цеолит загружают в колбу сорбционного насоса 11 и при открытых клапанах 8, 10 откачивают из нее воздух насосом 7 ( 10 - 15 мин), после чего клапаны закрывают. Затем сорбционный насос охлаждают жидким азотом. Через 20 - 30 мин насос подготовлен к работе. Его работоспособность проверяют следующим образом: открывают клапан 10 ( все остальные должны быть закрыты. [32]
При измерении давления ионизационными манометрами следует также учитывать ряд факторов, которые могут вызвать ошибки в измерении, значительно возрастающие по мере уменьшения измеряемого давления. Наиболее существенные погрешности может внести эффект химического и электрического поглощения газов стенками и электродами манометра. В результате этого эффекта манометр приобретает свойства миниатюрного сорбционного насоса, скорость откачки которого в начальный период работы в отдельных случаях может достигать нескольких литров в секунду. [33]
 |
Установка для измерения давления пара статическим методом. [34] |
Затем с помощью шлифов 9 и 10 колбы с полыми двухходовыми кранами 3 и 4 присоединяют к измерительной системе. При закрытых кранах 3, 4 и открытых 5, 6 откачивают воздух из системы. Для вакууми-рования системы вначале используют форвакуумный насос, затем подключают сорбционный насос на основе активного угля БАУ-1, охлаждаемого жидким азотом. [35]
Наиболее распространенная схема течеискания предусматривает присоединение течеискателя к трубопроводу насоса предварительного разрежения вакуумной системы откачиваемого объема. При этом реальная чувствительность метода сильно повышается ( см. § 28), однако постоя-нная времени оказывается сравнительно большой. В некоторых случаях, особенно в системах с применением сорбционных насосов, течеиска-тель подсоединяют непосредственно к высоковакуумной части установки. При этом работа без вымораживающей азотной ловушки крайне нежелательна, так как возможно загрязнение сорбционных насосов парами диффузионного масла. Во всех случаях нужно длину трубопровода к течеискателю делать возможно короткой и не прибегать к резиновым шлангам, газоотделение которых весьма велико. Методика течеискания довольно проста. Поиск течи ведут со сравнительно сильной струей обдувающего газа, начиная с предполагаемых мест течей вакуумной системы, расположенных в верхних частях, затем переходят к нижележащим участкам. [36]
Сверхвысоковакуумные установки для напыления фирмы Эдварде ( Англия) с диаметром камеры 355 мм дают возможность получать давление 5 10 1 мм рт. ст. Камеру изготовляют из коррозионностойкой стали, допускающей высокотемпературный прогрев. В рабочей камере предусмотрены специальные отверстия с фланцами для присоединения криогенного насоса, датчика ионизационного манометра, масс-спектрометра и других необходимых устройств. Криогенный ( конденсационный) насос ( см. рис. 378) опускают в камеру через отверстие, расположенное сверху. Вся система откачивается распылительно-ионным и титановым сублимационным насосами, предварительная откачка производится либо последовательно соединенными сорбционными насосами, либо двухступенчатым вращательным насосом с ловушкой. Нормальная температура прогрева 300 С, а при наличии прокладок из золота может достигать 400 С. [37]
На поверхности твердого тела обычно существует слой связанных молекул. Поглощение молекул твердым телом называется сорбцией, обратный процесс - десорбцией, поглощающее тело - сорбентом. Эти явления имеют большое значение в вакуумной технике. Интенсивная десорбция приводит к обильному газовыделению и сильно замедляет откачку, наоборот, активная сорбция ведет к быстрому поглощению газа и используется для откачки в специальных сорбционных насосах. [38]
Наиболее распространенная схема течеискания предусматривает присоединение течеискателя к трубопроводу насоса предварительного разрежения вакуумной системы откачиваемого объема. При этом реальная чувствительность метода сильно повышается ( см. § 28), однако постоя-нная времени оказывается сравнительно большой. В некоторых случаях, особенно в системах с применением сорбционных насосов, течеиска-тель подсоединяют непосредственно к высоковакуумной части установки. При этом работа без вымораживающей азотной ловушки крайне нежелательна, так как возможно загрязнение сорбционных насосов парами диффузионного масла. Во всех случаях нужно длину трубопровода к течеискателю делать возможно короткой и не прибегать к резиновым шлангам, газоотделение которых весьма велико. Методика течеискания довольно проста. Поиск течи ведут со сравнительно сильной струей обдувающего газа, начиная с предполагаемых мест течей вакуумной системы, расположенных в верхних частях, затем переходят к нижележащим участкам. [39]
Страницы: 1 2 3