Сорбционный насос
Cтраница 2
Низкий вакуум ( форвакуум) достижим при помощи одних механических насосов; высокий вакуум требует применения диффузионных или сорбционных насосов в комбинации с механическими форвакуумными, но в большинстве случаев не требует еще высокотемпературного прогрева откачиваемой системы; сверхвысокий вакуум требует, помимо применения диффузионных, молекулярных или сорбционных насосов в соединении с ф орвакуумными насосами и охлаждаемыми ловушками, также и обязательного обезгаживания откачиваемой системы путем длительного прогрева под откачкой, часто до 450 С, а иногда и выше. [16]
 |
Схема устройства ротационных вакуумных насосов предварительного разрежения. а - пластинчато-статорного. б - золотникового. [17] |
Рассмотрим кратко устройство и основные типы насосов предварительного разрежения, которые разделяются на механические форвакуумные насосы объемного действия и сорбционные насосы предварительной откачки. [18]
Водоструйные насосы часто применяются в системах безмасляной откачки, например в системе предварительного разрежения высоковакуумного парортутного насоса, для сорбционного насоса, а также в качестве последней ступени пароэжекторного насоса. [19]
В вакуумной технике сорбция газов и паров поверхностью твердого тела имеет важное значение из-за необходимости удалять газы и пары со стенок вакуумных аппаратов, а кроме того, это явление используется для откачки газов сорбционными насосами. Сорбция газа всегда сопровождается выделением тепла, десорбция - его поглощением. Как правило, газ содержится внутри и на поверхности металла. Если металлическую вакуумную аппаратуру предварительно не обезгазить, то из нее будет выделяться газ в вакуумное пространство, что особенно заметно при разогреве металлических частей. [20]
Низкий вакуум ( форвакуум) достижим при помощи одних механических насосов; высокий вакуум требует применения диффузионных или сорбционных насосов в комбинации с механическими форвакуумными, но в большинстве случаев не требует еще высокотемпературного прогрева откачиваемой системы; сверхвысокий вакуум требует, помимо применения диффузионных, молекулярных или сорбционных насосов в соединении с ф орвакуумными насосами и охлаждаемыми ловушками, также и обязательного обезгаживания откачиваемой системы путем длительного прогрева под откачкой, часто до 450 С, а иногда и выше. [21]
Такое разрежение достигается после предварительного обезга-живания установки при температуре 400 С. Действие сорбционного насоса основано на поглощении газов слоем распыленного титана, непрерывно испаряемого и конденсирующегося на рабочей поверхности экрана насоса, охлаждаемого жидким азотом. [22]
Эти насосы не требуют охлаждаемых ловушек на входе и часто присоединяются к откачиваемому сосуду без промежуточного крана, благодаря чему эффективно используется быстрота действия насоса. Как все сорбционные насосы, гет-терно-ионные насосы не боятся аварийных отключений энергии, так как при этом наблюдается довольно медленный рост давления в откачиваемом сосуде, бесшумны в работе, не создают вибраций, не требуют непрерывной работы насосов предварительного разрежения. Насосы с термическим испарением титана очень быстро запускаются в работу. [23]
 |
Схема агрегата АВТО-20-М. [24] |
В некоторых конструкциях сорбционных насосов поглощающая поверхность создается напылением химически активного металла, обычно титана, образующего прочные соединения с большей частью встречающихся в вакуумных системах газов. Инертные газы, не взаимодействующие с титаном, могут откачиваться небольшим вспомогательным насосом. [25]
Подготавливают цеолит и проверяют его работоспособность для создания определенного вакуума. Свежепрокаленный цеолит загружают в колбу сорбционного насоса 11 и при открытых клапанах 8, 10 откачивают из нее воздух насосом 7 ( 10 - 15 мин), после чего клапаны закрывают. Затем сорбционный насос охлаждают жидким азотом. Через 20 - 30 мин насос подготовлен к работе. Его работоспособность проверяют следующим образом: открывают клапан 10 ( все остальные должны быть закрыты. [26]
Для всех сорбционных средств откачки характерна значительная селективность поглощения отдельных газов. Это хорошо видно из табл. 6 [33], в которой сравниваются такие интегральные параметры различных сорбционных насосов, как удельная быстрота действия и коэффициент эффективности, равный отношению реальной быстроты действия к предельно возможной. Для встроенных систем откачки, когда отсутствует сопротивление присоединительных трубопроводов откачиваемому молекулярному потоку, коэффициент эффективности, очевидно, совпадает по величине с коэффициентом прилипания. [27]
Па), который способствует лучшей фокусировке пучка, уменьшению дозы нейтральных атомов и загрязнения поверхности образцов. Откачку производят диффузионными насосами, турбомолекулярными насосами с соответствующими форвакуумными насосами, геттерным насосом, создающим форвакуум для сорбционных насосов. Тип насоса выбирают с учетом состава и количества газа, а также необходимости получения безмасляного вакуума. [28]
В и о н н о - с о р б ц и о я н ы х насосах газ ионизируется. Ионы захватываются металлической поверхностью, находящейся под отрицательным потенциалом, чаще всего титановой, которая наряду с этим представляет собой и сорбционный насос. Ионная откачка способствует удалению несорбирующихся газов. [29]
Катодное пятно хаотически перемещается по поверхности испарения охлаждаемого катода, поэтому металл катода испаряется равномерно и нагревается до температуры, значительно ниже температуры его плавления. Откачка активных газов ( водорода, кислорода, азота, углекислого газа, окиси углерода и др.) происходит при осаждении титана на внутреннюю поверхность камеры электродугового сорбционного насоса. [30]
Страницы: 1 2 3