Cтраница 4
После механической доводки они были разделены на две партии. В одной партии образцов после диффузионного насыщения поверхности в порошке кремния был создан защитный силицидный слой порядка 100 мкм, другая после боросилицирования [3] имела покрытие, состоящее из 100 мкм силицида и подслоя бора в несколько микрометров. [46]