Cтраница 5
![]() |
Схемы коммутации вертикальных ( а, б и планарных ( в многопереходных СЭ. [61] |
В коротковолновой области собирание носителей улучшается за счет увеличения времени жизни носителей в приповерхностной области, которая, как и объемный материал, может быть выполнена из кремния с высокими значениями t, а также за счет возможности снижения скорости поверхностной рекомбинации. [62]
Точно так же поверхностная реконструкция полупроводника р-ти-па должна приводить к исчезновению дырок в приповерхностной области. [64]
Кроме того, при больших углах падения попов соударения между частицами происходят в приповерхностной области, что также увеличивает коэффициент распыления, особенно в случае больших энергий ионов. До сего времени не выяснены причины больших расхождений подобных зависимостей для разных материалов мишени. Максимумы коэффициентов распыления на этих кри, зых обычно объясняют шероховатостью поверхности мишени, уменьшающей эффективность распыления при очень малых углах падения. Шероховатость поверхности мишени заметно влияет на коэффициент распыления даже при падении ионов по нормали к поверхности, поскольку часть распыленных атомов в этом случае может задерживаться ближайшими возвышениями на поверхности. [65]
Возможно, что у этого образца вследствие сравнительно низкой концентрации носителей тока в приповерхностной области возникает тонкий слой пространственного заряда, в которой локализуется небольшой скачок потенциала. [66]
![]() |
Изменение твердости по сечению формы. [67] |
Исследования, проведенные по сечению формы, показали значительное снижение твердости НВ в приповерхностной области ( от 235 до 180), что можно объяснить указанными изменениями структуры. Можно отметить, что в сечении формы имеются две зоны с пониженной твердостью. Первая зона распространяется на глубину 2 мм от наружной поверхности, а вторая на глубину 2 - 5 мм. На большей глубине наблюдаются колебания твердости, связанные только с локальным различием структуры и погрешностями измерения. Видно, что твердость уменьшается в зоне глубиной 5 мм от внутренней поверхности; это, как можно наблюдать, связано с соответствующими изменениями микроструктуры. За пределами этой зоны твердость материала остается практически постоянной. [68]