Cтраница 5
Нестабильность порогового напряжения увеличивается с ростом концентрации ловушек в окисле. Электроннолучевая и плазменная обработки пластин, характерные для технологии СБИС, как правило, увеличивают число ловушек. В связи с этим необходимо создавать структуры с минимальной напряженностью электрического поля у стока. Это достигается использованием плавных р-п переходов [3], формируемых специальными технологическими методами, и понижением концентрации доноров в областях истока и стока. [61]
Дисковые клапаны до последнего времени широко применялись для компрессоров с малыми скоростями вращения. Но ввиду сложности обработки пластин от дисковых клапанов отказываются и применяют клапаны с кольцевыми или полосовыми пластинами. [62]