Образец - кремний
Cтраница 4
 |
Спектры примесного поглощения.| Спектр примесного поглощения кремния, легированного бором. [46] |
Эксперимент это подтверждает: на рис. 123 приведен экспериментально полученный спектр поглощения образца кремния, легированного бором. Узкие пики на длинноволновом крае основной примесной полосы соответствуют переходам с участием возбужденных состояний атомов бора. Полоса поглощения лежит в далекой инфракрасной области спектра в соответствии с величиной энергии ионизации мелких доноров, составляющей сотые доли электрон-вольта. [47]
В табл. 2 [13] приведены рассчитанные и измеренные экспериментально постоянные времени для образцов кремния р - и n - типа и германия р-тнпа. [48]
Дэш [198] выявил гексагональные призматические петли на плоскостях ( 111) в образцах кремния, в которые посредством диффузии вводилось золото. Возникновение петель было объяснено выделением междоузельных атомов ( фиг. Следовательно, они, вероятно, типа сидячей дислокации Франка. Наличие дефектов упаковки в этих петлях понятно, так как энергия дефекта упаковки в кремнии относительно мала ( см. гл. [49]
Эта величина1) на пять порядков меньше сечения захвата электронов ловушками в дырочных образцах кремния, чем и объясняется отсутствие многократного захвата в данном случае. Более точно это можно проиллюстрировать следующим образом. Согласно измерениям, скорость рекомбинации из валентной зоны составляет 2 5 - 104 сек. Таким образом, в данном образце в среднем только одна из 400 дырок вновь попадает на уровень прилипания, даже если все эти уровни пустые. Освобождение уровней прилипания происходит либо путем теплового выброса дырок обратно в валентную зону с последующей нормальной их рекомбинацией, либо путем непосредственной рекомбинации с данного уровня, либо, наконец, путем комбинации обоих названных процессов. Однако такой зависимости фактически не обнаружено по крайней мере в данном интервале-значении проводимости. Поэтому мы считаем, что измеренное значение постоянной времени t есть xff - время, характеризующее скорость теплового выброса в валентную зону. [50]
 |
Схема установки для вертикальной бестигельной зонной плавки кремния. I - стакан. 2 - нижняя головка. S - кварцевая трубка. 4 - верхняя головка. 5 - индуктор. [51] |
Сверху и снизу она закрывается головками 2 и 4, между которыми устанавливается образец кремния в виде вертикально расположенного стержня. Индуктор 5 охватывает кварцевую трубу снаружи и обеспечивает расплавление зоны, которая может перемещаться за счет передвижения рабочей камеры со скоростью 0 5 - 10 мм / мин. Очистка может происходить в вакууме или в атмосфере инертного газа. Расплавленная зона кремния в нижней части стержня не должна вытекать за счет удерживания ее силами поверхностного натяжения. Эти примеси собираются в верхней части стержня. Однако бор не удаляется и этим методом. В таких случаях большое значение приобретают методы очистки вещества в виде какого-либо из его соединений. [52]
 |
Схема установки для вертикальной.| Схема аппаратуры для разложения тетраиодида кремния. [53] |
Сверху и снизу она закрывается головками 4 и /, между которыми устанавливается образец кремния в виде вертикально расположенного стержня. Индуктор 3 охватывает кварцевую трубу снаружи и обеспечивает расплавление зоны, которая может перемещаться за счет передвижения рабочей камеры со скоростью 0 5 - 10 мм / мин. Очистка может происходить в вакууме или в атмосфере интернсто газа. [54]
 |
Структура Si ( 111 - 5X5, полученная после ионного легирования поверхности со структурой 7X7 ионами С1 . [55] |
Для подтверждения образования сс5х5 за счет примеси хлора было проведено легирование отрицательными ионами хлора образца кремния, на котором не наблюдалась ранее указанная сверхструктура. [56]
Снимают цилиндр иммерсионной кюветы, в котором расположены оптические окна, и устанавливают в держателе образец кремния. [57]
Полученные в этих работах значения неточны и противоречивы, что объясняется главным образом недостаточной чистотой образцов кремния. [58]
Блок камеры, содержащий смесь кислот, нагревают до температуры 105 - 110, блок с образцами кремния - до 160; соединительный паропровод нагрет до промежуточной температуры. [59]
У германия электронная компонента в низкотемпературной теплоемкости не была обнаружена даже в том случае, когда использовались более загрязненные образцы, чем описанные выше образцы кремния. Это и не удивительно, так как эффективные массы носителей тока в кремнии и германии имеют примерно одинаковую величину. Следовательно, электронная теплоемкость, которая пропорциональна отношению эффективных масс носителей и кубическому корню из концентрации примесей [ см. (9.7) ], будет у этих веществ примерно одинаковой. [60]
Страницы: 1 2 3 4 5