Cтраница 3
Обращает на себя внимание то, что в ряд диметилсульфоксидных соединений по числу координированных молекул ДМСО и снижению VS Q трудно вписать U02F3 - ДМСО. В этом соединении содержится только одна молекула ДМСО; в ряду по вытеснительной способности фтор стоит на одном из первых мест, а по величине сдвига vs 0 оно располагается рядом с нитратным и перхлоратным комплексами. Это, по-видимому, связано с особенностями фтор-иона: малый размер и сильная локализация заряда, заметный ионный вклад в энергию связи и вместе с тем сильная тенденция к образованию мостиковых полимерных структур. [31]
Примером второго процесса может служить высыхание льняного масла. Льняное масло, нанесенное на поверхность в виде тонкой пленки, поглощает из воздуха кислород и в результате этого превращается в твердую пленку линоксина. Этот процесс протекает в высыхающих маслах, масляно-смоляных лаках, окисляемых алкидных смолах и во многих других пленкообразовате-лях. В процессе окисления этих материалов возникают поперечные связи между двумя или более молекулами с образованием полимерной структуры. Общий процесс, включающий данный случай, называется самоокислительной полимеризацией. Механизм этого процесса будет описан ниже. [32]
Так как предел разрешения линий в фотолитографии обусловливается длиной волны ультрафиолетового света, а в последнее время все больший интерес представляет вопрос изготовления рисунков в пределах 1 мкм, поэтому внимание исследователей все больше привлекает метод экспонирования фоторезистов с помощью электронного луча. На четкость изображения дифракция не оказывает влияния, потому что обычно используются электроны с энергией 10 кВ с длиной волны Де Бройля - порядка нескольких десятков ангстрем. Диаметр точечного изображения ограничен сферическими аберрациями электромагнитных линз, а это сказывается весьма незначительно, поскольку углы наклона пучков электронов очень малы. Важной предпосылкой для экспонирования электронным лучом является наличие подходящих фоторезистов. Взаимодействие таких электронов с органическими полимерами не ограничивается образованием хромофорных групп, и в молекулах могут произойти еще какие-то явления. В результате взаимодействия в макромолекулах могут образоваться временно разрушенные связи, что может привести к появлению поперечных связей с образованием трехмерных полимерных структур или к насыщению разрушенных связей с образованием мельчайших агрегатов. В первом случае растворимость облученного продукта уменьшается, тогда как разделение макромолекул ведет к увеличению растворимости. Оба этих процесса имеют место в большинстве органических полимеров. В зависимости от преобладания поперечных связей или их разрушения, одни данные предусматривают использование негативных, а другие позитивных фоторезистов. Обычные фоторезисты, а также другие полимерные системы были испытаны на пригодность их в качестве резистов для электронно-лучевого метода. [33]