Cтраница 5
![]() |
Оже-спектр углерода.| Оже-спектр цезия ( мишень Csl. [61] |
Энергия оже-пика характеризует данный атом, поэтому анализ спектров оже-электронов позволяет получить информацию о составе приповерхностной области твердого тела, откуда происходит ЭОЭ. Средняя длина свободного пробега электронов с такими же энергиями составляет 0 5 - 2 нм, так что спектры оже-электронов отражают свойства приповерхностного слоя толщиной до пяти монослоев. Амплитуда оже-пика пропорциональна концентрации атомов данного сорта на поверхности твердого тела и эффективности оже-переходов, которая характеризуется величиной, называемой оже-чувстви-тельностью. Она определяется числом вторичных оже-электронов с данной энергией, испущенных данным элементом, в расчете на число первичных электронов и зависит от энергии первичных электронов. Анализ спектров оже-электронов лежит в основе электронной оже-спектроскопии ( ЭОС) - основного метода изучения состава поверхности твердых тел. [62]
Поглощение рентгеновского излучения в веществе сопровождается образованием фотоэлектронов, оже-электронов и испусканием атомами вещества вторичных фотонов. [63]
Для легких элементов ( кроме Н и Не) спектры Оже-электронов достаточно просты, лежат в низкоэнергетической области и легко расшифровываются. Однако одновременно появляются пики, соответствующие Оже-переходам KLM, КММ и другие, которые располагаются в удобной для анализа низкоэнергетической области. [64]
Для электронных оболочек с малыми значениями энергии связи ширина линии оже-электронов составляет несколько электронвольт. При переходе от атома к твердому телу энергетические уровни внешних электронов расширяются в энергетические зоны с определенным распределением электронов по энергиям внутри каждой зоны. Более глубокие энергетические уровни не расширяются, ко их энергии смещаются на несколько электронвольт. Этот энергетический сдвиг определяется типом химической связи, в которой находится данный атом. Для внешних валентных электронных оболочек сдвиг по энергиям может существенно различаться из-за особенностей химической связи. Эти общие энергетические закономерности, наблюдаемые при переходе от отдельного атома к твердому телу, хорошо видны на примере, представленном на рис. 14.2. Наличие энергетических зон, а главное, распределение электронов по энергиям внутри каждой зоны, участвующей в данном оже-процессе, определяет не только ширину, но и форму линий оже-электронов, эмиттируемых твердым телом. [65]
Рассмотрим теперь некоторые общие факторы, влияющие на величину тока оже-электронов. [66]
На рис. 3.9 схематически показано наложение спектров настоящих вторичных электронов и оже-электронов. Число последних в 5 - 10 раз меньше, вследствие чего для выделения спектра оже-электронов необходимо дифференцировать общий энергетический спектр N ( E) и по расстояниям между пиками dN ( E) / dE оценить характеристики спектра со стченно оже-электронов. На рис. ЗЛО приведены в качестве примера интегральная и дифференциальная формы оже-электронного спектра грани ( 100) платины. [67]