Cтраница 3
При окислении кремния, на поверхность которого предварительно нанесены оксиды фосфора Р2О5 или бора В2О3, образуются пленки фосфорносиликатного или боросиликат-ного стекла, обладающие достаточно хорошими электрическими характеристиками. [31]
Иногда для окисления кремния применяют электролитическое и газовое анодирование, а для нанесения двуокиси кремния на подложки из других материалов - пиролитлческое разложение кремиийорганических соединений я вакуумные методы. [32]
![]() |
Зависимость толщины оксида кремния от времени окисления во влажном кислороде при различном содержании водяного пара. [33] |
Установка для окисления кремния во влажном кислороде аналогична используемой при окис-лении в сухом кислороде. Только вместо осушителя во входную газовую магистраль включают барботер с водой, помещенный в термостат. Изменяя температуру барботера, можно в широких пределах изменять парциальное давление водяного пара, переходя от условий, близких к условиям окисления в сухом кислороде, к условиям, близким к окислению в потоке водяного пара при атмосферном давлении. Обычно барботер находится при температуре 16 - 20 С. Снижение температуры ниже 16 С с одновременной заменой кислорода на инертный газ ( например, аргон) позволяет снизить скорость окисления до значений меньших, чем при окислении в сухом кислороде. [34]
В результате окисления кремния или марганца их количество в обмазке уменьшается, вследствие чего ухудшается раскисление сварочной ванны, а выделение водорода нспучивает обмазку, делает ее пенистой, пористой и текучей, сползающей с электрода при нанесении ее на стержень. Этот эффект называют иногда скисанием обмазки. После просушки такая пористая обмазка обладает худшей теплопроводностью и обнаруживает видимый эффект тугоплавкости, ухудшая технологические свойства электродов. Для предупреждения скисания обмазки необходимо придать ферросплавам пассивность к раствору жидкого стекла. Эта операция называется пассивированием ферросплавов. [35]
В результате окисления кремния или марганца их количество в обмазке уменьшается, вследствие чего ухудшается раскисление сварочной ванны, а выделение водорода вспучивает обмазку, делает ее пенистой, пористой и текучей, сползающей с электрода при нанесении ее на стержень. Этот эффект называют иногда скисанием обмазки. После просушки такая пористая обмазка обладает худшей теплопроводностью и повышенной тугоплавкостью, что ухудшает технологические свойства электродов. Для предупреждения скисания обмазки необходимо придать ферросплавам пассивность к раствору жидкого стекла. Эта операция называется пассивированием ферросплавов. Пассивирование ферросплавов производится путем создания на поверхности зернышек ферросплавов защитной пленочки. Наиболее просто это достигается созданием искусственно утолщенной пленки окиси кремния. [36]
Модель механизма окисления кремния в плазме, получившая экспериментальное подтверждение, заключается в следующем. В плазме поверхность полупроводника подвергается интенсивной бомбардировке электронами и ионами высоких энергий. [37]
К методам собственного окисления кремния относятся различные варианты термического оксидирования ( обработка поверхности кремния в окислительной атмосфере при повышенных температурах), электродинамическое ( анодное) оксидирование, а также окисление в кислородной плазме при относительно низких температурах ( порядка 300 - 40СГС) и некоторые другие. [38]
К методам собственного окисления кремния относятся различные варианты термического оксидирования ( обработка поверхности кремния в окислительной атмосфере при повышенных температурах), электродинамическое ( анодное) оксидирование, а также окисление в кислородной плазме при относительно низких температурах ( порядка 300 - 400 С) и некоторые другие. [39]
Одновременно с окислением кремния окисляется и марганец по аналогичным реакциям, однако этот процесс в условиях кислородного конвертера протекает с меньшей полнотой. Переход марганца в шлак обычно ограничивается остаточными содержаниями в металле 0 2 - 0 4 %, которые по ходу дальнейшей продувки могут дополнительно повышаться вследствие восстановления марганца из шлака по реакциям: ( MnO) [ Fe ] [ Mn ] ( FeO), ( MnO) [ С ] [ Мп ] СО. [40]
При сварке происходит окисление кремния. Окислы кремния имеют температуру плавления более высокую, чем свариваемый металл, и тем самым затрудняется процесс сварки. [41]
При сварке происходит окисление кремния. Окислы кремния имеют температуру плавления более высокую, чем свариваемый металл, и тем самым затрудняется процесс сварки. [42]
Наиболее удобным методом окисления кремния считается термический метод. Электрохимическое окисление и пиролити-ческий метод не позволяют получать окисел с малой плотностью структурных дефектов. Окислением в тлеющем разряде трудно создать пленки двуокиси кремния достаточной толщины и хорошего качества. [43]
В силидах степень окисления кремния отрицательная. В химическом отношении они напоминают карбиды, но более стойки по отношению к кислотам. Обычно жаростойки и имеют высокую твердость. [44]
![]() |
Общий вид слитка и заготовок монокристаллического кремния.| Схема индексации главных плоскостей кубического кристалла. [45] |